Photolithographie

Avec 10 ans d'expérience en micro/nano, nos solutions avancées d'usinage micro/nano vous permettent d'économiser du temps, des soucis et des efforts tout au long du processus de fabrication micro/nano, en réduisant une grande quantité de déchets coûteux et en optimisant l'efficacité et la rentabilité de l'ensemble de la production.

Plus de 100 écoles et entreprises nous choisissent

Qu'est-ce que la photolithographie ?

La photolithographie est un procédé de précision permettant de créer des motifs sur des films minces ou des substrats (également appelés "wafers"). La photolithographie utilise la lumière pour transférer la géométrie d'un masque photographique (également appelé "photomasque") à une résine chimique photosensible (c'est-à-dire sensible à la lumière) sur un substrat.

Nos compétences

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photolithographie

Lithographie de contact et de proximité (Lithographie de contact et de proximité)

Taille minimale du graphique : 1μm, précision de l'enregistrement : ±0,5μm.

photolithographie

écriture directe au laser
(écriture directe au laser)

Laser femtoseconde, polymérisation à deux photons Impression 3D.Taille minimale du graphique 0,3um, précision de l'enregistrement : ±0,5um ;

photolithographie

Lithographie pas à pas
(Lithographie au pas de charge)

Taille minimale du graphique : 200 nm, précision d'enregistrement ≤ 0,15μm (X,Y), plage d'exposition <22*22mm, support 8inch

photolithographie

Lithographie par faisceau d'électrons (EBL)

Taille minimale du motif : 10 nm, précision d'enregistrement : 40 nm, plage d'exposition < 100 mm de diamètre

photolithographie

Lithographie par balayage
(Lithographie à balayage)

Rapport de projection 1:5, taille graphique minimale : 0,35μm, précision de l'enregistrement ≤ 0,15μm (X,Y), plage d'exposition <22*22mm.

photolithographie

lithographie par faisceau d'ions
(lithographie par faisceau d'ions)

Taille minimale du graphique : 1μm, précision de l'enregistrement : ±0,5μm.

matériel de lithographie

matériel de lithographie

Matériaux de support courants

Plaques de silicium, verre, saphir, matériaux flexibles, GaAs, etc.

matériel de lithographie

Taille du substrat

2, 4, 6, 8 pouces et petits morceaux irréguliers

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processus de production

1. l'offre préliminaire

Envoyez vos dessins et vos exigences à notre responsable du développement pour obtenir un premier devis.

2. l'identification du programme

Sur la base des dessins et des exigences, nous optimisons et déterminons la proposition et le devis.

3. la production et le contrôle de la qualité

Nous sélectionnerons le meilleur équipement pour votre produit et nous assumerons l'entière responsabilité de la fabrication de votre produit selon nos normes.

4. livraison dans les délais

Livrer le produit à temps

le contrôle de la qualité

Moyens de détection

Microscope optique (Microscopie)

Moyens de détection

Profilomètre (Contouring)

Moyens de détection

Mesure de la résistance de la feuille

Moyens de détection

Mesure de Hall )

Les cas que nous avons traités

Domaines d'application

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Applications micro-nano

réseau de microlentilles

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Applications micro-nano

polariseur linéaire

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Applications micro-nano

transducteurs

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Applications micro-nano

électronique flexible

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Applications micro-nano

Film antireflet

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Applications micro-nano

Panneau OLED

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Applications micro-nano

Canaux et puces microfluidiques

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Applications micro-nano

Guide d'onde optique AR

Nos avantages

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tranchant

Couverture complète du processus

Coopération avec un certain nombre d'expériences nationales, avec des réserves de technologies de traitement différentes de 100um-5nm

tranchant

Contrôle de qualité de haut niveau

Nous respectons l'esprit du service 6sigma, en sélectionnant la plate-forme expérimentale, la technologie, le personnel et les matériaux les plus appropriés pour le traitement.

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réponse rapide

De l'idée à l'atterrissage, nos experts fourniront des conseils avisés et continueront àhanterservice

tranchant

gagner du temps et s'épargner des soucis

Service clé en main, de la réalisation du principe à la conception des dessins, de l'approvisionnement en matières premières à la transformation du produit fini.

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