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マイクロ・ナノ加工|電子ビームリソグラフィ 加工原理

微纳加工 | 电子束光刻加工原理 与可利用光学技术相比,电子束光刻术的优点是能够制造更小特征尺寸的元件。元件的特征尺寸基本上是受所使用光波波长的限制。电子束光刻术中使用的电子束光斑尺寸可根据应用从几纳米到几百纳米。一个电 […]

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マイクロ・ナノ加工|3次元光学構造のグレースケールリソグラフィー

マイクロ・ナノ加工|3D光学構造 グレイスケールリソグラフィー グレイスケール加工技術により、様々な用途に多様なマイクロ光学素子を使用することができます。 回折および屈折マイクロ光学素子は、輪郭フォトリソグラフィーとグラフィックエッチングおよび転写技術を用いて加工することができます。より一般的に使用されるマイクロ光学素子には、ビーム分割回折光学素子やビームフォーミング回折光学素子があります、

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マイクロ・ナノ加工|光デバイス用材料

マイクロ・ナノ加工|基板|光電子デバイスでよく使われる基板 シリコンは、集積回路の標準的な材料として使用されており、世界で最も広く研究されている材料の一つです。この材料は、高温半導体としての使用に適しており、成長しやすい酸化物絶縁体である。これらの特性は、現在の産業インフラと工具のすべてと相まって、集積シリコン光

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マイクロ・ナノ加工|MEMS研究の方向性

マイクロナノプロセス|MEMS研究の方向性の分類 MEMS研究は、主に基礎理論、マイクロナノプロセス、マイクロナノデバイス、マイクロナノテスト、マイクロナノシステム、マイクロパッケージなどを含む、多くの研究領域をカバーする、より完全なシステムを形成している。 現在、MEMS研究は、マイクロエネルギー、ポータブル電子デバイス、急速な技術革新の4つの主要な方向に分けることができる。

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マイクロ・ナノ加工|MEMS マイクロエネルギーシステムプレパレーション

マイクロナノプロセッシング|MEMSマイクロエネルギーデバイスシステムの準備 マイクロマシニング技術とマイクロエレクトロニクスの技術レベルに伴い、MEMSシステムは大きく発展してきました、通常のエネルギー供給デバイスのサイズ、低エネルギー密度、短寿命などの欠点に制限され、エネルギー電源デバイスなどのマイクロエネルギーデバイスが徐々に注目されており、MEMSマイクロエネルギーデバイスになりました。

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マイクロナノプロセッシング|電子ペーパー製マイクロカップとマイクロチャンバー構造の作成

マイクロナノ加工|電子ペーパーマイクロカップマイクロコンパートメント型構造準備 現在のエネルギー危機のために、精力的に省エネと排出削減技術の経済モデルを開発することが急務であり、環境に優しく、省エネの新世代のハイテクディスプレイ製品になることが期待されている。電子情報産業がますます急速に発展し、集積回路、コンピュータ、フラットパネル・ディスプレイ産業が相次いで発展している。

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マイクロ・ナノ加工|高分子発光デバイスの作製

マイクロナノプロセッシング|AIEポリマー発光デバイスの作製 マイクロナノ発光デバイスは、集積光学系の開発において重要な役割を果たしている:有機レーザーや電子ディスプレイの分野でのアプリケーションのための大きな見通しで光利得材料、圧力や化学物質に応答する発光材料は、センサーとして使用することができます。

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マイクロ・ナノ加工|タンパク質マイクロ・ナノ構造の細胞パターニング

マイクロナノプロセッシング|タンパク質ベースのマイクロナノデバイスチップ作製 近年、携帯機器の発展により、人々は電子デバイスの柔軟性に注目している。人々は、電子デバイスの柔軟性により注目している。特に、インターネット時代を契機としたウェアラブルデバイスの波では、フレキシブルな電子デバイスが期待されている。このような背景から、タンパク質材料は柔軟性に優れているだけでなく、生体適合性にも優れている。

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マイクロ・ナノプロセッシング|マイクロ流体チップ

マイクロプロセッシング|マイクロ流体チップ マイクロ流体チップは、単一細胞の分解能で生物システムを研究するための強力なツールとなっている。一方、マイクロ流体チップは、微小液滴の生成、マイクロ流体拡散ふるい分け、タンパク質-リガンド相互作用の検出などの操作だけでなく、生化学における分子アッセイの実現にも広く利用することができる。マイクロ・ナノ

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