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微纳加工 | 光刻-光学光刻篇 在纳米和微加工技术的背景下，光刻用于在基板表面上应用图案，以便随后将其转移到下面的基板上。 光学光刻使用光将图案从母版（光掩模）复制到基板上。这个过程与传统的负⽚摄影复制非常相似。将光敏聚 […]

マイクロ・ナノ加工｜エッチング フォトリソグラフィでレジスト膜をパターン化したら、化学的なプロセスでパターンを下の基板やフィルムに転写する。これがパターン転写工程である。FIBリソグラフィーのように、レジストを用いずに直接パターンをエッチングする場合や、パターン化したレジストを溶解して基板や膜のみにパターンを転写する剥離工程など、例外もある。

薄膜作製 - エピタキシー ほとんどの材料は、アモルファス、結晶、多結晶の状態で存在する。その機械的、光学的、熱的、電気的特性も状態によって異なる。 例えば、カーボンはアモルファス状態では黒い粉であるが、結晶状態ではダイヤモンドであり、高い屈折率を持つ光学的に透明な固体である。アモルファス状態

化学的方法は、均一性、被覆率、化学量論に優れた膜を作ることができるが、膜の種類ごとに異なるガスと、時には異なるチャンバーを必要とする。最も一般的な化学的方法は化学気相成長法（CVD）である。 この手法では、プラズマ・プリカーサーをチャンバー内に導入し、基板を以下の温度まで加熱する。

薄膜作製 - PVD これまで、最も一般的な物理的方法は蒸着とスパッタリングであった。どちらも、ソース材料をその場で一つずつ基板上に転写する相法である。これらはしばしば物理的気相成長法（PVD）と呼ばれます。 PVDは通常、周囲のガス種の干渉を最小限に抑えるため、高真空チャンバー内で行われる。 蒸気