마이크로 및 나노 공정 | 포토리소그래피 - 광학 리소그래피
微纳加工 | 光刻-光学光刻篇 在纳米和微加工技术的背景下,光刻用于在基板表面上应用图案,以便随后将其转移到下 […]
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微纳加工 | 光刻-光学光刻篇 在纳米和微加工技术的背景下,光刻用于在基板表面上应用图案,以便随后将其转移到下 […]
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미세 제조 | 에칭 포토리소그래피로 레지스트 필름에 패턴이 형성되면 화학 공정을 사용하여 패턴을 아래 기판이나 필름에 전사합니다. 이를 패턴 전사라고 합니다.
박막 준비 - 에피택시 대부분의 재료는 비정질, 결정질 또는 다결정 상태로 존재합니다. 기계적, 광학적, 열적, 전기적 특성도 상태에 따라 달라집니다.
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薄膜制备-沉积 化学方法可以⽣产出具有出色均匀性、覆盖率和化学计量比的薄膜,但它们需要不同的气体,有时每种薄膜
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薄膜制备-PVD篇 到⽬前为⽌,最常⽤的物理⽅法是蒸发和溅射。两者都是⽓相⽅法,源材料逐个原⼦地转移到基板上。
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마이크로 / 나노 제조 서비스-견적 마이크로 / 나노 제조 오늘날 마이크로 / 나노 제조 및 마이크로 / 나노 측정 기술은 정보 산업, 산업 분야에서 널리 사용됩니다.
마이크로 및 나노 공정 | MEMS 소자 | LIGA 전자빔 리소그래피 나노임프린팅 자세히보기"