{"id":26944,"date":"2022-06-08T16:20:38","date_gmt":"2022-06-08T08:20:38","guid":{"rendered":"https:\/\/www.accscicn.com\/?p=26944"},"modified":"2022-10-26T15:58:31","modified_gmt":"2022-10-26T07:58:31","slug":"mems_fabrication_06","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d1%80%d0%b5%d1%88%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/mems_fabrication_06\/","title":{"rendered":"\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 | \u0422\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u041c\u042d\u041c\u0421 (VI)"},"content":{"rendered":"<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"26944\" class=\"elementor elementor-26944\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-top-section elementor-element elementor-element-54128778 elementor-section-full_width elementor-section-stretched elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"54128778\" data-element_type=\"section\" data-settings=\"{&quot;stretch_section&quot;:&quot;section-stretched&quot;,&quot;background_background&quot;:&quot;classic&quot;}\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-default\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-100 elementor-top-column elementor-element elementor-element-69c843a5\" data-id=\"69c843a5\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<section class=\"elementor-section elementor-inner-section elementor-element elementor-element-6a18ec9 elementor-section-boxed elementor-section-height-default elementor-section-height-default\" data-id=\"6a18ec9\" data-element_type=\"section\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-container elementor-column-gap-default\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-50 elementor-inner-column elementor-element elementor-element-1744f10\" data-id=\"1744f10\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6fc1209b elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"6fc1209b\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.21.0 - 20-05-2024 *\/\n.elementor-heading-title{padding:0;margin:0;line-height:1}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title[class*=elementor-size-]>a{color:inherit;font-size:inherit;line-height:inherit}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-small{font-size:15px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-medium{font-size:19px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-large{font-size:29px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xl{font-size:39px}.elementor-widget-heading .elementor-heading-title.elementor-size-xxl{font-size:59px}<\/style><h1 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\"><b>\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 | \u0422\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u041c\u042d\u041c\u0421<\/b><\/h1>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-24ca13ca elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"24ca13ca\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.21.0 - 20-05-2024 *\/\n.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-stacked .elementor-drop-cap{background-color:#69727d;color:#fff}.elementor-widget-text-editor.elementor-drop-cap-view-framed .elementor-drop-cap{color:#69727d;border:3px solid;background-color:transparent}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap{margin-top:8px}.elementor-widget-text-editor:not(.elementor-drop-cap-view-default) .elementor-drop-cap-letter{width:1em;height:1em}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap{float:left;text-align:center;line-height:1;font-size:50px}.elementor-widget-text-editor .elementor-drop-cap-letter{display:inline-block}<\/style>\t\t\t\t<p style=\"font-size: 16px; font-style: normal;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\"><b>1.6 \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0436\u0435\u0440\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f<\/b><\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0436\u0435\u0440\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f. \u0412 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0436\u0435\u0440\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b, \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440 \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430, \u0438, \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\"><b>1.7 \u042d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044f<\/b><\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u042d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435. \u041e\u043d \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0443 \u0436\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\"><b>1.8 \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f LIGA \u0438 \u043a\u0432\u0430\u0437\u0438-LIGA<\/b><\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(1) \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f LIGA<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430 LIGA \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u0430 \u041d\u0435\u043c\u0435\u0446\u043a\u0438\u043c \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u043c \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u043c \u044f\u0434\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u041a\u0430\u0440\u043b\u0441\u0440\u0443\u044d \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u043d\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438. \u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043e\u0442 0,2 \u0434\u043e 0,6 \u043d\u043c \u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u0438\u0437\u043c.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439, \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u043e\u0439 \u0434\u043e 1 \u043c\u043c \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0438\u0444\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435, \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u043a\u0430\u043d\u0442\u0438\u043b\u0435\u0432\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f LIGA \u0441 \u0436\u0435\u0440\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f LIGA \u0441 \u0436\u0435\u0440\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u043a\u0430\u043d\u0442\u0438\u043b\u0435\u0432\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 LIGA \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u0438\u0437\u043e\u0433\u043d\u0443\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(2) \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f Quasi-LIGA<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f LIGA \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u043e \u0435\u0439 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0449\u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438, \u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435. \u0414\u043b\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u044c \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 LIG-<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u041d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0437\u0438-LIGA, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0437\u0438-LIGA, \u0423\u0424 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u0423\u0424 \u0441\u0442\u0435\u0440\u0435\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 LIGA \u0438 \u0442.\u0434..<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u2460 \u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u0432\u0430\u0437\u0438-LIGA \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u043e\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d LIGA. \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439 (ICD: induc-tively coupled plasma) \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u044c\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0440\u043c \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u043e\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u042d\u0442\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432 \u043d\u0435\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u0445 \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439. \u042d\u0442\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c SF6 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0430 \u0438 \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438. \u042d\u0442\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u0448\u0430\u0433\u043e\u043c \u0432\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0432 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 LIGA.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u2461 \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f Laser LIGA. \u042d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u0430\u0431\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u041f\u041c\u041c\u0410 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u044d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0430, \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u043b\u0438\u044f\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441. \u0422\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 YAG \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435\u0445\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b KTP \u0438 BBO, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435\u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c\u0438.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\"><b>1.9 \u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438<\/b><\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(1) \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e-\u042d\u0414\u041c<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e-\u042d\u0414\u041c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0435 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0430 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u042d\u0414\u041c. \u041a\u043b\u044e\u0447\u043e\u043c \u043a \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u042d\u0414\u041c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u043e\u0441\u0438 (\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430), \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u0441\u0435\u0440\u0432\u043e\u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u044b \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c, \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 EDM \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e 3D \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043b\u044e\u0434\u0438 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0438 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f EDM \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e 3D \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0444\u0440\u0435\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0427\u041f\u0423. \u0421 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u042d\u0414\u041c \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u0432\u0430\u043b\u044b \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c 2,5 \u043c\u043a\u043c \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c 5 \u043c\u043a\u043c, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 0,5 \u043c\u043c, \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 0,2 \u043c\u043c \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439 0,2 \u043c\u043c. \u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0448\u0435\u0441\u0442\u0435\u0440\u043d\u0438 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c 0,3 \u043c\u043c \u0438 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u043c 0,1 \u043c\u043c.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(2) \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 - \u044d\u0442\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u043e\u0434\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438. \u041d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0431\u044b, \u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0431\u044b. \u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0430, \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c 10 \u043c\u043a\u043c. \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u043a\u0435\u043b\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 0,2 \u043c\u043c.<\/span><span style=\"color: #051c2c; font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; font-style: inherit; font-weight: inherit;\">\u0412 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043e \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0435 0,17 \u043c\u043c.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0432\u0430\u043b\u043e\u0432. \u041f\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0441 EDM \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043e\u0432, \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0430, \u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0430\u043d\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0432\u0430\u043b\u043e\u043c \u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u0430\u043b\u0430. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0435 \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0432\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u0432 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0437\u0430\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043a\u0440\u043e\u0448\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b, \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 LIGA.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(3) \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0412 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439. \u0412 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 EDM, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043d\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430; \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0435\u0439, \u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u044b \u043a \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0447\u0442\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0432 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0435, \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043d\u0435\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u041c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u044b \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a, \u0437\u0430 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u0430, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u0430, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 0,01 \u0434\u043e 0,1 \u043c\u043c, \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043e\u0441\u0442\u0440\u0438\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043c\u0430\u043b\u0430 (\u043e\u0442 0,005 \u0434\u043e 0,01 \u043c\u043c), \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u0433\u043e \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0436\u043d\u0435\u0433\u043e \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u0440\u0436\u043d\u044f. \u0414\u043b\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u0430 \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u044b \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043e\u0441\u0442\u0440\u0438\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044c \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0432 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u0445 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c 5 \u043c\u043a\u043c.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(4) \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435 \u0432 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0430 \u0432 \u0435\u0433\u043e \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438. \u0412 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0430, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0421\u0432\u0435\u0442\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043c\u043e\u043b\u0435. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438 \u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043c\u043e\u043b\u044b, \u0430 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0430\u044f \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0421 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043e\u0442 10 \u043c\u043a\u043c \u0434\u043e 1 \u043c\u043c. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0437\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0440\u0430\u0437:<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(i) \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u044b \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0443\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432; (ii) \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u0432\u044f\u0437\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043c\u043e\u043b\u044b, \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435); (iii) \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0442.\u0434.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0434\u043b\u044f<\/span><span style=\"color: #051c2c; font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; font-style: inherit; font-weight: inherit;\">\u0414\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u0441\u044f \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0421\u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u0440\u0435\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0432 \u0432\u0430\u043d\u043d\u0435 \u0441\u043e \u0441\u043c\u043e\u043b\u043e\u0439, \u0438 \u0441\u043c\u043e\u043b\u0430 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432 \u0444\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0435, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b. \u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f:<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(1) \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u044b \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0438\u0444\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 1 \u043c\u043a\u043c \u0432 \u0442\u0440\u0435\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445; (2) \u041d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043e\u043f\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a; (3) \u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044f\u0437\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043c\u043e\u043b\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043e, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0435\u0440\u0432\u0443\u0430\u0440\u0435 \u0441 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043c\u043e\u043b\u043e\u0439 \u043d\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0443\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">(5) \u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0440\u0434\u0446\u0435\u0432\u0438\u043d\u0430 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f, \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043d\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b \u0438, \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u0441\u0435\u0440\u0434\u0446\u0435\u0432\u0438\u043d\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0414\u043b\u044f \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0442\u044b \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u0441 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043a \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0441 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u0414\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0434\u0435\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043d\u0430\u0442\u0440\u0438\u044f, \u0430 \u043d\u0438\u043a\u0435\u043b\u044c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c, \u0438 \u0441 \u043d\u0438\u043c \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043c\u0435\u043b\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c. \u0414\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0434\u0435\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e \u0440\u0435\u0437\u0430\u0442\u044c, \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043d\u0438\u0445 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043b\u0430\u0442\u0443\u043d\u044c, \u043d\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0439 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0437\u044a\u0435\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0438\u043a\u0435\u043b\u044f, \u043d\u043e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442 \u043b\u0430\u0442\u0443\u043d\u044c.<\/span><\/p><p style=\"font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400;\"><span style=\"font-family: \u5fae\u8f6f\u96c5\u9ed1; color: #051c2c;\">\u041d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u043e\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f, \u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u0435\u0440\u0434\u0435\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u043e\u0442 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0435, \u0434\u043e \u0442\u0435\u0445 \u043f\u043e\u0440, \u043f\u043e\u043a\u0430 \u0432\u044b \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0435\u0440\u0434\u0435\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0432\u044b \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f.<\/span><\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-16b3f2b3 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"16b3f2b3\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<p>\u041c\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u043c \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0439<span style=\"color: #0e2143;\"><b><a style=\"color: #0e2143;\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">\u0423\u0441\u043b\u0443\u0433\u0438 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u041c\u042d\u041c\u0421 \/ \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440<\/a>,<\/b><\/span> \u041d\u0435 \u0441\u0442\u0435\u0441\u043d\u044f\u0439\u0442\u0435\u0441\u044c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0432\u0430\u0448\u0438\u043c \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u043e\u043c.<\/p>\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-19d957c8 elementor-widget elementor-widget-wpforms\" data-id=\"19d957c8\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"wpforms.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<div class=\"wpforms-container wpforms-container-full\" id=\"wpforms-26998\"><form id=\"wpforms-form-26998\" class=\"wpforms-validate wpforms-form wpforms-ajax-form\" data-formid=\"26998\" method=\"post\" enctype=\"multipart\/form-data\" action=\"\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/26944\" data-token=\"d070dc04484cdf9cb6db6bbdae47e546\" data-trp-original-action=\"\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/26944\"><noscript class=\"wpforms-error-noscript\">\u0414\u043b\u044f \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435 JavaScript \u0432 \u0431\u0440\u0430\u0443\u0437\u0435\u0440\u0435.<\/noscript><div class=\"wpforms-field-container\"><div id=\"wpforms-26998-field_4-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-email\" data-field-id=\"4\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-26998-field_4\">\u7535\u90ae <span class=\"wpforms-required-label\">*<\/span><\/label><div class=\"wpforms-field-row wpforms-field-large\"><div class=\"wpforms-field-row-block wpforms-one-half wpforms-first\"><input type=\"email\" id=\"wpforms-26998-field_4\" class=\"wpforms-field-required wpforms-field-email-primary\" name=\"wpforms[fields][4][primary]\" required><label for=\"wpforms-26998-field_4\" class=\"wpforms-field-sublabel after\">\u042d\u043b. \u043f\u043e\u0447\u0442\u0430<\/label><\/div><div class=\"wpforms-field-row-block wpforms-one-half\"><input type=\"email\" id=\"wpforms-26998-field_4-secondary\" class=\"wpforms-field-email-secondary wpforms-field-required\" data-rule-confirm=\"#wpforms-26998-field_4\" name=\"wpforms[fields][4][secondary]\" required><label for=\"wpforms-26998-field_4-secondary\" class=\"wpforms-field-sublabel after\">\u041f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u0438\u0442\u0435 \u044d\u043b. \u043f\u043e\u0447\u0442\u0443<\/label><\/div><\/div><\/div><div id=\"wpforms-26998-field_2-container\" class=\"wpforms-field wpforms-field-textarea\" data-field-id=\"2\"><label class=\"wpforms-field-label\" for=\"wpforms-26998-field_2\">\u0422\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435<\/label><textarea id=\"wpforms-26998-field_2\" class=\"wpforms-field-small\" name=\"wpforms[fields][2]\" ><\/textarea><\/div><\/div><div class=\"wpforms-submit-container\"><input type=\"hidden\" name=\"wpforms[id]\" value=\"26998\"><input type=\"hidden\" name=\"wpforms[author]\" value=\"1\"><button type=\"submit\" name=\"wpforms[submit]\" id=\"wpforms-submit-26998\" class=\"wpforms-submit\" data-alt-text=\"\u53d1\u9001\u4e2d\u2026\" data-submit-text=\"\u63d0\u4ea4\" aria-live=\"assertive\" value=\"wpforms-submit\">\u041e\u0442\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c<\/button><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/plugins\/wpforms\/assets\/images\/submit-spin.svg\" class=\"wpforms-submit-spinner\" style=\"display: none;\" width=\"26\" height=\"26\" alt=\"\u0417\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\"><\/div><input type=\"hidden\" name=\"trp-form-language\" value=\"ru\"\/><\/form><\/div>  <!-- .wpforms-container -->\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-column elementor-col-50 elementor-inner-column elementor-element elementor-element-39af961f\" data-id=\"39af961f\" data-element_type=\"column\">\n\t\t\t<div class=\"elementor-widget-wrap elementor-element-populated\">\n\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-43cfd957 elementor-widget-divider--view-line elementor-widget elementor-widget-divider\" data-id=\"43cfd957\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"divider.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<style>\/*! elementor - v3.21.0 - 20-05-2024 *\/\n.elementor-widget-divider{--divider-border-style:none;--divider-border-width:1px;--divider-color:#0c0d0e;--divider-icon-size:20px;--divider-element-spacing:10px;--divider-pattern-height:24px;--divider-pattern-size:20px;--divider-pattern-url:none;--divider-pattern-repeat:repeat-x}.elementor-widget-divider .elementor-divider{display:flex}.elementor-widget-divider .elementor-divider__text{font-size:15px;line-height:1;max-width:95%}.elementor-widget-divider .elementor-divider__element{margin:0 var(--divider-element-spacing);flex-shrink:0}.elementor-widget-divider .elementor-icon{font-size:var(--divider-icon-size)}.elementor-widget-divider .elementor-divider-separator{display:flex;margin:0;direction:ltr}.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator{align-items:center}.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--view-line_icon .elementor-divider-separator:before,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--view-line_text .elementor-divider-separator:before{display:block;content:\"\";border-block-end:0;flex-grow:1;border-block-start:var(--divider-border-width) var(--divider-border-style) var(--divider-color)}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:first-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider-separator:before{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-left .elementor-divider__element{margin-left:0}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:last-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider-separator:after{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-right .elementor-divider__element{margin-right:0}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:first-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider-separator:before{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-start .elementor-divider__element{margin-inline-start:0}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider .elementor-divider-separator>.elementor-divider__svg:last-of-type{flex-grow:0;flex-shrink:100}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider-separator:after{content:none}.elementor-widget-divider--element-align-end .elementor-divider__element{margin-inline-end:0}.elementor-widget-divider:not(.elementor-widget-divider--view-line_text):not(.elementor-widget-divider--view-line_icon) .elementor-divider-separator{border-block-start:var(--divider-border-width) var(--divider-border-style) var(--divider-color)}.elementor-widget-divider--separator-type-pattern{--divider-border-style:none}.elementor-widget-divider--separator-type-pattern.elementor-widget-divider--view-line .elementor-divider-separator,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not(.elementor-widget-divider--view-line) .elementor-divider-separator:after,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not(.elementor-widget-divider--view-line) .elementor-divider-separator:before,.elementor-widget-divider--separator-type-pattern:not([class*=elementor-widget-divider--view]) .elementor-divider-separator{width:100%;min-height:var(--divider-pattern-height);-webkit-mask-size:var(--divider-pattern-size) 100%;mask-size:var(--divider-pattern-size) 100%;-webkit-mask-repeat:var(--divider-pattern-repeat);mask-repeat:var(--divider-pattern-repeat);background-color:var(--divider-color);-webkit-mask-image:var(--divider-pattern-url);mask-image:var(--divider-pattern-url)}.elementor-widget-divider--no-spacing{--divider-pattern-size:auto}.elementor-widget-divider--bg-round{--divider-pattern-repeat:round}.rtl .elementor-widget-divider .elementor-divider__text{direction:rtl}.e-con-inner>.elementor-widget-divider,.e-con>.elementor-widget-divider{width:var(--container-widget-width,100%);--flex-grow:var(--container-widget-flex-grow)}<\/style>\t\t<div class=\"elementor-divider\">\n\t\t\t<span class=\"elementor-divider-separator\">\n\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-1395824 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"1395824\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">\u0421\u043e\u043f\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u044b<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-1f211001 elementor-grid-1 elementor-grid-tablet-2 elementor-grid-mobile-1 elementor-posts--thumbnail-top elementor-widget elementor-widget-posts\" data-id=\"1f211001\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;classic_columns&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_columns_tablet&quot;:&quot;2&quot;,&quot;classic_columns_mobile&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:35,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"posts.classic\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<link rel=\"stylesheet\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/plugins\/elementor-pro\/assets\/css\/widget-posts.min.css\">\t\t<div class=\"elementor-posts-container elementor-posts elementor-posts--skin-classic elementor-grid\">\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-29698 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-product category-nanofabrication tag-nanofabrication\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bf%d1%80%d0%be%d0%b4%d1%83%d0%ba%d1%82\/2pp-%d0%b4%d0%b2%d1%83%d1%85%d1%84%d0%be%d1%82%d0%be%d0%bd%d0%bd%d0%b0%d1%8f-%d0%bf%d0%be%d0%bb%d0%b8%d0%bc%d0%b5%d1%80%d0%b8%d0%b7%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"259\" src=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2024\/05\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217-300x259.png\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-29772\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2024\/05\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217-300x259.png 300w, https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2024\/05\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217-14x12.png 14w, https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2024\/05\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217.png 434w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bf%d1%80%d0%be%d0%b4%d1%83%d0%ba%d1%82\/2pp-%d0%b4%d0%b2%d1%83%d1%85%d1%84%d0%be%d1%82%d0%be%d0%bd%d0%bd%d0%b0%d1%8f-%d0%bf%d0%be%d0%bb%d0%b8%d0%bc%d0%b5%d1%80%d0%b8%d0%b7%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/\" >\n\t\t\t\t\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 3D-\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u0438 \u0441 \u0434\u0432\u0443\u0445\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h3>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bf%d1%80%d0%be%d0%b4%d1%83%d0%ba%d1%82\/2pp-%d0%b4%d0%b2%d1%83%d1%85%d1%84%d0%be%d1%82%d0%be%d0%bd%d0%bd%d0%b0%d1%8f-%d0%bf%d0%be%d0%bb%d0%b8%d0%bc%d0%b5%d1%80%d0%b8%d0%b7%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/\" aria-label=\"\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043e \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 3D-\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u0438 \u0441 \u0434\u0432\u0443\u0445\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t\u0427\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-28732 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-nanofabrication\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/%d0%bc%d0%b0%d1%81%d1%81%d0%b8%d0%b2%d1%8b-%d0%bc%d0%b8%d0%ba%d1%80%d0%be%d0%bb%d0%b8%d0%bd%d0%b7\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"203\" src=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217-300x203.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-28741\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217-300x203.jpg 300w, https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217-768x520.jpg 768w, https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/\u5fae\u900f\u955c\u9635\u5217.jpg 1018w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/%d0%bc%d0%b0%d1%81%d1%81%d0%b8%d0%b2%d1%8b-%d0%bc%d0%b8%d0%ba%d1%80%d0%be%d0%bb%d0%b8%d0%bd%d0%b7\/\" >\n\t\t\t\t\u041c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043b\u0438\u043d\u0437 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h3>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/%d0%bc%d0%b0%d1%81%d1%81%d0%b8%d0%b2%d1%8b-%d0%bc%d0%b8%d0%ba%d1%80%d0%be%d0%bb%d0%b8%d0%bd%d0%b7\/\" aria-label=\"\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043e \u041c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043b\u0438\u043d\u0437 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t\u0427\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-28462 page type-page status-publish has-post-thumbnail hentry category-nanofabrication tag-nanoimprint-lithography\">\n\t\t\t\t<a class=\"elementor-post__thumbnail__link\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d0%b8%d0%bc%d0%bf%d1%80%d0%b8%d0%bd%d1%82%d0%bd%d0%b0%d1%8f-%d0%bb%d0%b8%d1%82%d0%be%d0%b3%d1%80%d0%b0%d1%84%d0%b8%d1%8f\/\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t<div class=\"elementor-post__thumbnail\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"225\" src=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/2D-hexagonal-grid-300x225.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium wp-image-28516\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/2D-hexagonal-grid-300x225.jpg 300w, https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/2D-hexagonal-grid-768x576.jpg 768w, https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/10\/2D-hexagonal-grid.jpg 1024w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/div>\n\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d0%b8%d0%bc%d0%bf%d1%80%d0%b8%d0%bd%d1%82%d0%bd%d0%b0%d1%8f-%d0%bb%d0%b8%d1%82%d0%be%d0%b3%d1%80%d0%b0%d1%84%d0%b8%d1%8f\/\" >\n\t\t\t\t\u041d\u0430\u043d\u043e\u0438\u043c\u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u0438\u043d\u0433 (NIL) \u0421\u0443\u0431\u043f\u043e\u0434\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h3>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d0%b8%d0%bc%d0%bf%d1%80%d0%b8%d0%bd%d1%82%d0%bd%d0%b0%d1%8f-%d0%bb%d0%b8%d1%82%d0%be%d0%b3%d1%80%d0%b0%d1%84%d0%b8%d1%8f\/\" aria-label=\"\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043e \u041d\u0430\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430\u4e28 \u041d\u0430\u043d\u043e\u0438\u043c\u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u0438\u043d\u0433 (NIL) \u0413\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t\u0427\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-37d4f3f5 elementor-widget-divider--view-line elementor-widget elementor-widget-divider\" data-id=\"37d4f3f5\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"divider.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-divider\">\n\t\t\t<span class=\"elementor-divider-separator\">\n\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-34e5441a elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"34e5441a\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">\u0421\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-4cc8d502 elementor-grid-1 elementor-posts--thumbnail-none elementor-grid-tablet-2 elementor-grid-mobile-1 elementor-widget elementor-widget-posts\" data-id=\"4cc8d502\" data-element_type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;classic_columns&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_columns_tablet&quot;:&quot;2&quot;,&quot;classic_columns_mobile&quot;:&quot;1&quot;,&quot;classic_row_gap&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:35,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_tablet&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]},&quot;classic_row_gap_mobile&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;px&quot;,&quot;size&quot;:&quot;&quot;,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"posts.classic\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-posts-container elementor-posts elementor-posts--skin-classic elementor-grid\">\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-27037 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-nanofabrication tag-nanofabrication\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d1%80%d0%b5%d1%88%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/liga_app_02\/\" >\n\t\t\t\tUV-LIGA Electroforming | \u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u044f\u0447\u0435\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h3>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>UV-LIGA \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 | \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0442\u0440\u0430\u0444\u0430\u0440\u0435\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043e\u0432<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d1%80%d0%b5%d1%88%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/liga_app_02\/\" aria-label=\"\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043e \u0423\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 | \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0442\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t\u0427\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-27064 post type-post status-publish format-standard has-post-thumbnail hentry category-nanofabrication tag-nanofabrication\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d1%80%d0%b5%d1%88%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/mems_capability\/\" >\n\t\t\t\tMEMS Foundry Capabilities | Photolithography Plating Etching Coating\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h3>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>\u5fae\u7eb3\u7ed3\u6784\/MEMS\u4ee3\u5de5\u5e73\u53f0\u6280\u672f\u80fd\u529b \u5b9e\u9a8c<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d1%80%d0%b5%d1%88%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/mems_capability\/\" aria-label=\"\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043e \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u041c\u042d\u041c\u0421 | \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t\u0427\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<article class=\"elementor-post elementor-grid-item post-27025 post type-post status-publish format-standard hentry category-nanofabrication tag-nanofabrication\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__text\">\n\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-post__title\">\n\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d1%80%d0%b5%d1%88%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/liga_app_01\/\" >\n\t\t\t\tLIGA Plating | Machining \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0438\u043d\u0435\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438\/\u0420\u0427\/\u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044b\t\t\t<\/a>\n\t\t<\/h3>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-post__excerpt\">\n\t\t\t<p>LIGA\/UV-LIGA\u7535\u9540 | \u91d1\u5c5e\u5fae<\/p>\n\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t<a class=\"elementor-post__read-more\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d1%80%d0%b5%d1%88%d0%b5%d0%bd%d0%b8%d1%8f\/%d0%bd%d0%b0%d0%bd%d0%be%d1%84%d0%b0%d0%b1%d1%80%d0%b8%d0%ba%d0%b0%d1%86%d0%b8%d1%8f\/liga_app_01\/\" aria-label=\"\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043e \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 LIGA | \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440, \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432\/\u0420\u0427\/\u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432\" tabindex=\"-1\" >\n\t\t\t\u0427\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \"\t\t<\/a>\n\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/article>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3177189d elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3177189d\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t<p class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\"><a href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/%d0%bf%d0%be%d0%bd%d0%b8%d0%bc%d0%b0%d0%bd%d0%b8%d0%b5\/\">\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435...<\/a><\/p>\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5 1.6\u3000 [&hellip;]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"default","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[47],"tags":[46],"class_list":["post-26944","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-nanofabrication","tag-nanofabrication"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO Premium plugin v21.9 (Yoast SEO v22.7) - https:\/\/yoast.com\/wordpress\/plugins\/seo\/ -->\n<title>\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d) -<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"LIGA\u6280\u672f\u9996\u5148\u662f\u7531\u5fb7\u56fd\u5361\u5c14\u65af\u9c81\u5384\u6838\u7269\u7406\u7814\u7a76\u4e2d\u5fc3\u7814\u7a76\u51fa\u6765\u7684,\u88ab\u516c\u8ba4\u4e3a\u662f\u4e00\u79cd\u5168\u65b0\u7684\u4e09\u7ef4\u7acb\u4f53\u5fae\u7ec6\u52a0\u5de5\u6280\u672f\u3002LIGA\u6280\u672f\u7528X\u5c04\u7ebf\u8fdb\u884c\u5149\u523b,\u80fd\u591f\u5236\u4f5c\u51fa\u5f62\u72b6\u590d\u6742\u7684\u9ad8\u7eb5\u6a2a\u6bd4\u7684\u5fae\u673a\u68b0,\u53ef\u52a0\u5de5\u7684\u6750\u6599\u4e5f\u6bd4\u8f83\u5e7f\u6cdb,\u53ef\u4ee5\u662f\u91d1\u5c5e\u53ca\u5176\u5408\u91d1\u3001\u9676\u74f7\u3001\u5851\u6599\u3001\u805a\u5408\u7269\u7b49\u3002\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f\/\u043d\u0430\u043d\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\/mems_fabrication_06\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d)\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"LIGA\u6280\u672f\u9996\u5148\u662f\u7531\u5fb7\u56fd\u5361\u5c14\u65af\u9c81\u5384\u6838\u7269\u7406\u7814\u7a76\u4e2d\u5fc3\u7814\u7a76\u51fa\u6765\u7684,\u88ab\u516c\u8ba4\u4e3a\u662f\u4e00\u79cd\u5168\u65b0\u7684\u4e09\u7ef4\u7acb\u4f53\u5fae\u7ec6\u52a0\u5de5\u6280\u672f\u3002LIGA\u6280\u672f\u7528X\u5c04\u7ebf\u8fdb\u884c\u5149\u523b,\u80fd\u591f\u5236\u4f5c\u51fa\u5f62\u72b6\u590d\u6742\u7684\u9ad8\u7eb5\u6a2a\u6bd4\u7684\u5fae\u673a\u68b0,\u53ef\u52a0\u5de5\u7684\u6750\u6599\u4e5f\u6bd4\u8f83\u5e7f\u6cdb,\u53ef\u4ee5\u662f\u91d1\u5c5e\u53ca\u5176\u5408\u91d1\u3001\u9676\u74f7\u3001\u5851\u6599\u3001\u805a\u5408\u7269\u7b49\u3002\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f\/\u043d\u0430\u043d\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\/mems_fabrication_06\/\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2022-06-08T08:20:38+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2022-10-26T07:58:31+00:00\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"admin\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"admin\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"1 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u0430\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\/\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/\"},\"author\":{\"name\":\"admin\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/person\/2767c229124ce838616141e311459023\"},\"headline\":\"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d)\",\"datePublished\":\"2022-06-08T08:20:38+00:00\",\"dateModified\":\"2022-10-26T07:58:31+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/\"},\"wordCount\":68,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#organization\"},\"keywords\":[\"App_Nanofabrication\"],\"articleSection\":[\"\u89e3\u51b3\u65b9\u6848 - \u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5\"],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/\",\"url\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/\",\"name\":\"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d) -\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#website\"},\"datePublished\":\"2022-06-08T08:20:38+00:00\",\"dateModified\":\"2022-10-26T07:58:31+00:00\",\"description\":\"LIGA\u6280\u672f\u9996\u5148\u662f\u7531\u5fb7\u56fd\u5361\u5c14\u65af\u9c81\u5384\u6838\u7269\u7406\u7814\u7a76\u4e2d\u5fc3\u7814\u7a76\u51fa\u6765\u7684,\u88ab\u516c\u8ba4\u4e3a\u662f\u4e00\u79cd\u5168\u65b0\u7684\u4e09\u7ef4\u7acb\u4f53\u5fae\u7ec6\u52a0\u5de5\u6280\u672f\u3002LIGA\u6280\u672f\u7528X\u5c04\u7ebf\u8fdb\u884c\u5149\u523b,\u80fd\u591f\u5236\u4f5c\u51fa\u5f62\u72b6\u590d\u6742\u7684\u9ad8\u7eb5\u6a2a\u6bd4\u7684\u5fae\u673a\u68b0,\u53ef\u52a0\u5de5\u7684\u6750\u6599\u4e5f\u6bd4\u8f83\u5e7f\u6cdb,\u53ef\u4ee5\u662f\u91d1\u5c5e\u53ca\u5176\u5408\u91d1\u3001\u9676\u74f7\u3001\u5851\u6599\u3001\u805a\u5408\u7269\u7b49\u3002\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/\"]}]},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\u9996\u9875\",\"item\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d)\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#website\",\"url\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/\",\"name\":\"\",\"description\":\"We transform tomorrow\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":\"required name=search_term_string\"}],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#organization\",\"name\":\"\u4e0a\u6d77\u82f1\u751f\u7535\u5b50\u79d1\u6280\u6709\u9650\u516c\u53f8\",\"url\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/logo\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/02\/cropped-logo-1.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/02\/cropped-logo-1.png\",\"width\":512,\"height\":512,\"caption\":\"\u4e0a\u6d77\u82f1\u751f\u7535\u5b50\u79d1\u6280\u6709\u9650\u516c\u53f8\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/logo\/image\/\"}},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/person\/2767c229124ce838616141e311459023\",\"name\":\"admin\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/person\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/132bd954260b9fe20dcccbd41aba4d67692e9074b8a36c1129fc3ee607782887?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/132bd954260b9fe20dcccbd41aba4d67692e9074b8a36c1129fc3ee607782887?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"admin\"},\"sameAs\":[\"https:\/\/www.accscicn.com\/\"],\"url\":\"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/author\/admin\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO Premium plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d) -","description":"LIGA\u6280\u672f\u9996\u5148\u662f\u7531\u5fb7\u56fd\u5361\u5c14\u65af\u9c81\u5384\u6838\u7269\u7406\u7814\u7a76\u4e2d\u5fc3\u7814\u7a76\u51fa\u6765\u7684,\u88ab\u516c\u8ba4\u4e3a\u662f\u4e00\u79cd\u5168\u65b0\u7684\u4e09\u7ef4\u7acb\u4f53\u5fae\u7ec6\u52a0\u5de5\u6280\u672f\u3002LIGA\u6280\u672f\u7528X\u5c04\u7ebf\u8fdb\u884c\u5149\u523b,\u80fd\u591f\u5236\u4f5c\u51fa\u5f62\u72b6\u590d\u6742\u7684\u9ad8\u7eb5\u6a2a\u6bd4\u7684\u5fae\u673a\u68b0,\u53ef\u52a0\u5de5\u7684\u6750\u6599\u4e5f\u6bd4\u8f83\u5e7f\u6cdb,\u53ef\u4ee5\u662f\u91d1\u5c5e\u53ca\u5176\u5408\u91d1\u3001\u9676\u74f7\u3001\u5851\u6599\u3001\u805a\u5408\u7269\u7b49\u3002","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f\/\u043d\u0430\u043d\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\/mems_fabrication_06\/","og_locale":"ru_RU","og_type":"article","og_title":"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d)","og_description":"LIGA\u6280\u672f\u9996\u5148\u662f\u7531\u5fb7\u56fd\u5361\u5c14\u65af\u9c81\u5384\u6838\u7269\u7406\u7814\u7a76\u4e2d\u5fc3\u7814\u7a76\u51fa\u6765\u7684,\u88ab\u516c\u8ba4\u4e3a\u662f\u4e00\u79cd\u5168\u65b0\u7684\u4e09\u7ef4\u7acb\u4f53\u5fae\u7ec6\u52a0\u5de5\u6280\u672f\u3002LIGA\u6280\u672f\u7528X\u5c04\u7ebf\u8fdb\u884c\u5149\u523b,\u80fd\u591f\u5236\u4f5c\u51fa\u5f62\u72b6\u590d\u6742\u7684\u9ad8\u7eb5\u6a2a\u6bd4\u7684\u5fae\u673a\u68b0,\u53ef\u52a0\u5de5\u7684\u6750\u6599\u4e5f\u6bd4\u8f83\u5e7f\u6cdb,\u53ef\u4ee5\u662f\u91d1\u5c5e\u53ca\u5176\u5408\u91d1\u3001\u9676\u74f7\u3001\u5851\u6599\u3001\u805a\u5408\u7269\u7b49\u3002","og_url":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f\/\u043d\u0430\u043d\u043e\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\/mems_fabrication_06\/","article_published_time":"2022-06-08T08:20:38+00:00","article_modified_time":"2022-10-26T07:58:31+00:00","author":"admin","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c":"admin","\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f":"1 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u0430"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/"},"author":{"name":"admin","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/person\/2767c229124ce838616141e311459023"},"headline":"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d)","datePublished":"2022-06-08T08:20:38+00:00","dateModified":"2022-10-26T07:58:31+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/"},"wordCount":68,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#organization"},"keywords":["App_Nanofabrication"],"articleSection":["\u89e3\u51b3\u65b9\u6848 - \u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5"],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/","url":"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/","name":"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d) -","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#website"},"datePublished":"2022-06-08T08:20:38+00:00","dateModified":"2022-10-26T07:58:31+00:00","description":"LIGA\u6280\u672f\u9996\u5148\u662f\u7531\u5fb7\u56fd\u5361\u5c14\u65af\u9c81\u5384\u6838\u7269\u7406\u7814\u7a76\u4e2d\u5fc3\u7814\u7a76\u51fa\u6765\u7684,\u88ab\u516c\u8ba4\u4e3a\u662f\u4e00\u79cd\u5168\u65b0\u7684\u4e09\u7ef4\u7acb\u4f53\u5fae\u7ec6\u52a0\u5de5\u6280\u672f\u3002LIGA\u6280\u672f\u7528X\u5c04\u7ebf\u8fdb\u884c\u5149\u523b,\u80fd\u591f\u5236\u4f5c\u51fa\u5f62\u72b6\u590d\u6742\u7684\u9ad8\u7eb5\u6a2a\u6bd4\u7684\u5fae\u673a\u68b0,\u53ef\u52a0\u5de5\u7684\u6750\u6599\u4e5f\u6bd4\u8f83\u5e7f\u6cdb,\u53ef\u4ee5\u662f\u91d1\u5c5e\u53ca\u5176\u5408\u91d1\u3001\u9676\u74f7\u3001\u5851\u6599\u3001\u805a\u5408\u7269\u7b49\u3002","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/#breadcrumb"},"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/"]}]},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/solutions\/nanofabrication\/mems_fabrication_06\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u9996\u9875","item":"https:\/\/www.accscicn.com\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"\u5fae\u7eb3\u52a0\u5de5 | MEMS\u7cbe\u7ec6\u52a0\u5de5(\u516d)"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#website","url":"https:\/\/www.accscicn.com\/","name":"","description":"We transform tomorrow","publisher":{"@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.accscicn.com\/?s={search_term_string}"},"query-input":"required name=search_term_string"}],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#organization","name":"\u4e0a\u6d77\u82f1\u751f\u7535\u5b50\u79d1\u6280\u6709\u9650\u516c\u53f8","url":"https:\/\/www.accscicn.com\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/02\/cropped-logo-1.png","contentUrl":"https:\/\/www.accscicn.com\/wp-content\/uploads\/2022\/02\/cropped-logo-1.png","width":512,"height":512,"caption":"\u4e0a\u6d77\u82f1\u751f\u7535\u5b50\u79d1\u6280\u6709\u9650\u516c\u53f8"},"image":{"@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/logo\/image\/"}},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/person\/2767c229124ce838616141e311459023","name":"admin","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.accscicn.com\/#\/schema\/person\/image\/","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/132bd954260b9fe20dcccbd41aba4d67692e9074b8a36c1129fc3ee607782887?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/132bd954260b9fe20dcccbd41aba4d67692e9074b8a36c1129fc3ee607782887?s=96&d=mm&r=g","caption":"admin"},"sameAs":["https:\/\/www.accscicn.com\/"],"url":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/author\/admin\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/26944","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=26944"}],"version-history":[{"count":14,"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/26944\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":28689,"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/26944\/revisions\/28689"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=26944"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=26944"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.accscicn.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=26944"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}