Micronanofabrication | Classification de l'orientation de la recherche sur les MEMS

La recherche sur les MEMS a formé un système plus complet couvrant de multiples domaines de recherche, notamment la théorie de base, le processus micro-nano, les dispositifs micro-nano, les tests micro-nano, les systèmes micro-nano et les micro-emballages.

La recherche actuelle sur les MEMS peut être divisée en quatre grandes directions :

Le développement rapide des appareils électroniques portables sur la densité énergétique de l'alimentation portable pose des exigences plus élevées, et l'utilisation de la technologie de microfabrication pour fabriquer des dispositifs micro-énergétiques permet de réduire considérablement la taille du dispositif d'alimentation en énergie, ce qui constitue un outil puissant pour le développement d'une alimentation portable à haute densité énergétique.

La recherche sur la détection et l'analyse micro-nano-biochimiques comprend des systèmes d'analyse micro-complets tels que des puces de dépistage de médicaments, des puces à protéines, des puces d'analyse unicellulaire, des dispositifs et des technologies connexes tels que des nanocapteurs à ondes acoustiques, des nanobiocapteurs optiques, des nanobiocapteurs magnétiques, des nanocapteurs électrochimiques, etc.

L'étude des microactionneurs est une orientation importante dans les micro-nano-systèmes. Elle couvre les micro-dispositifs RF, les micro-robots, les micro-véhicules, les actionneurs micro-fluidiques et les dispositifs micro-optiques.

Les capteurs de mesure physique répondent à un large éventail de besoins dans les domaines de l'armement, de la pétrochimie, de l'automobile, etc., et de nombreuses applications nécessitent des capteurs de petite taille, à haute sensibilité et capables de fonctionner dans des environnements difficiles à haute température, à haute humidité et à fort impact.