マイクロ・ナノプロセッシング｜マイクロ流体チップ
微細加工｜マイクロ流体チップ マイクロ流体チップは、生体系を単一細胞の分解能で研究するための強力なツールとなっています。同時に、マイクロ流体チップは、微小液滴の生成、マイクロ流体拡散篩、タンパク質-リガンド相互作用の検出などの操作だけでなく、生化学における分子アッセイの実施にも広く使用されています。マイクロ＆ナノ ...
ソリューション
MEMSファウンドリー機能｜フォトリソグラフィープレーティングエッチングコーティング
マイクロ・ナノ構造/MEMSファウンドリープラットフォームの技術力 実験室プラットフォームには合計200セット以上の設備があり、そのうち主な設備（40セット以上）は以下の通りです： - グラフィック設備 電子ビーム露光、レーザー直描、デスクトップ接触リソグラフィー、デスクトップリソグラフィーなど - 薄膜蒸着設備 ICP-PECVD, LPCVD ...。
UV-LIGA電鋳｜大面積・高空隙率のファインメタルメッシュパネルの作製
UV-LIGA電鋳｜メタルアレイステンシルの作製 現在、微細なメタルステンシルの作製には、フォトリソグラフィー-エッチング、レーザー加工、フォトリソグラフィー-電鋳が主なプロセス技術としてあげられます。フォトリソグラフィー-エッチング法は、主に化学的または電気化学的な溶解に基づくもので、高効率で滑らかな表面を持つが、金属の等方的なエッチング挙動に制限され、製造が困難である ...
LIGAメッキ｜金属微細構造加工、慣性センサー/RF/ヒートシンクパーツ
LIGA/UV-LIGA メッキ｜金属微細構造 RFデバイス 慣性センサー 放熱 微細構造応用 マイクロシステム（欧州語）、MEMS（Micro Electro Mechanical System、米国語） ...
マイクロ・ナノプロセッシング｜セルラーアレイのために
マイクロマシニング｜細胞配列のために 細胞マイクロアレイ（またはセルパターニング）は、細胞パターニングとも呼ばれ、研究対象の細胞を定められた空間位置に閉じ込めることです。(1) 医薬品開発 「細胞マイクロアレイを使用することで、医薬品開発のコストを大幅に削減できる」「より正確に結果を予測できる」 ...
マイクロ・ナノ加工｜マイクロ・ナノ光学部品の作製について
マイクロ・ナノ加工 - マイクロ・ナノ光学部品 マイクロ・ナノ光学部品とは、サブミクロンの表面精度とナノメートルの表面粗さを持つ自由形状の光学表面や微細構造の光学部品です。小型、軽量、柔軟な設計、容易な配列、一括再現性により、従来の光学部品では不可能であった新しいタスクを実行することができます...
マイクロ・ナノ加工｜MEMSファインプロセッシング(VII)
マイクロ・ナノ加工｜MEMS微細加工（VII） 1.10 ボンディング技術 ウェーハボンディングは、はんだ付けと同様に、材料の層を溶かし合わせて、バインダーなしで強力な結合を形成する。シリコン-ガラス接合は、シリコン-ガラス間に350℃から500℃で数百ボルトの電圧を印加することで ...
マイクロ・ナノ加工｜MEMSファインプロセッシング(VI)
マイクロ・ナノ加工｜MEMS微細加工 1.6 犠牲層技術 犠牲層技術とは、分離層技術とも呼ばれる。シリコン基板上に化学気相成長法で微細部品を形成し、その周囲の隙間に分離層材料を添加し、最後に溶解やエッチングで分離層を除去して、微細部品と基板を分離する技術です。
マイクロ・ナノ加工｜MEMSファインプロセッシング(V)
マイクロ・ナノ加工｜MEMS微細加工（V） 1.5 高エネルギービームエッチング技術 (1) 電子ビームエッチング 電子ビームの化学的効果を利用したエッチングである。被加工物の表面には、表面温度上昇がほとんどない、かなり低い出力密度の電子ビームが照射され、入射電子が高分子材料の分子と衝突することで、分子を...
マイクロ・ナノ加工｜MEMSファインプロセッシング(IV)
マイクロ・ナノ加工｜MEMS微細加工（IV） 1.3 フォトリソグラフィー フォトリソグラフィーは、フォトリソグラフィーとも呼ばれ、マイクロエレクトロニクス用の集積回路の製造に端を発しています。フォトリソグラフィーは、半導体構造やデバイス、集積回路の微細構造を作製するための重要なプロセス技術である。