PALS 陽電子消滅寿命スペクトロメーター CSUラボ 高分子・半導体欠陥の非破壊分析* 陽電子消滅寿命分光法 PALSは、原子スケールで様々な現象を研究できる非破壊分光法であり、半導体欠陥の非破壊分析を可能にする。 PALS 陽電子消滅寿命スペクトロメーター 続きを読む “