マイクロ・ナノの加工と製造

マイクロ・ナノ加工
サービス - 見積もり

マイクロ・ナノ加工

現在、マイクロ・ナノ加工技術やマイクロ・ナノ計測技術は、情報産業、工業生産、生物・医学、航空宇宙・環境科学など幅広い分野で活用されており、軍事・民生分野の開発において重要な役割を担っています。そのため、お客様の製品検証を最短で実現するために、マイクロ・ナノ加工プロトタイピングサービスを開始しました。

マイクロフルイディックチップ
サービス - アセスメントコンサルティング

描画の最適化、プロセス定義

これを最適に実現するために、まずお客様の図面を評価し、図面の変更案を提供し、加工に適したプロセスや機器を推奨します。また、お客様のプライバシーを絶対的に保護するため、納品完了後、お客様のローカルコンピューターにある図面ファイルの記録を破棄することをお約束します。

テストキャラクタリゼーション 1x1
サービス内容 - 納期保証

構造試験特性評価報告書

納品物の品質を保証するために、完成品の品質報告書(通常は光学検査報告書)を提供します。しかし、私たちはさらに、完成品の表面幾何学的パラメータと機械的特性の測定も行います。これは、部品の3次元寸法、輪郭、膜厚、表面粗さ、引張、透過特性、耐久性などのテストに及びます。

私たちの能力

プロセス

リトグラフ

電子ビーム描画装置(EBL: Electron Beam Lithography)UVリソグラフィープロキシミティ/コンタクトリソグラフィ、ステッパーリソグラフィなど。

集束イオンビームエッチング、深部反応性イオンエッチング、誘導結合プラズマエッチング、イオンビームスパッタリングエッチングなど。

ナノサーマルエンボス、UV硬化型エンボス、マイクロコンタクトプリンティング(ソフトエッチング)

マグネトロンスパッタリングatomic layer depositionの略。イオンビームスパッタリング, ,プラズマ化学気相成長法 など

マイクロ・ナノ構造

マイクロ・ナノ構造

回折光学素子(DOE)

マイクロ・ナノ構造

スーパーレンズ(METALENSES)

マイクロレンズ

マイクロナノアーキテクチャ

マイクロレンズアレイ

テストキャラクタリゼーション

テストツール

光学顕微鏡(マイクロスコープ)

テストツール

プロフィロメーター

テストツール

シート抵抗の測定

テストツール

ホール測定 ホール測定)

応用分野

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マイクロ・ナノアプリケーション

マイクロレンズアレイ

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マイクロ・ナノアプリケーション

リニアグリッド偏光板

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マイクロ・ナノアプリケーション

センサー

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マイクロ・ナノアプリケーション

フレキシブルエレクトロニクス

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マイクロ・ナノアプリケーション

反射防止フィルム

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マイクロ・ナノアプリケーション

有機ELパネル

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マイクロ・ナノアプリケーション

マイクロ流体チャンネル/チップ

AR/VR

マイクロ・ナノアプリケーション

AR光導波路