镀膜工艺-Coating

10年微/纳加工经验沉淀,我们先进的微纳加工解决方案可确保您在整个微纳制造过程中,省时,省事,省心,减少大量成本浪费以及优化整个生产的效率和效益。

100개 이상의 학교와 기업이 당사를 선택했습니다.

什么是镀膜?

박막 증착 (도금)은 기판 재료에 박막 코팅을 형성하고 증착하는 공정입니다.기판에 다양한 재료의 박막을 증착하는 것은 마이크로 및 나노 공정의 가장 중요한 수단 중 하나입니다.필름에는 기판 성능의 특정 요소를 수정하거나 개선하는 데 사용할 수 있는 다양한 속성이 있습니다. 예를 들어 투명성, 내구성, 긁힘 방지, 전기 전도도 또는 신호 전송률 증가 또는 감소 등이 있습니다.박막 증착 두께는 나노미터에서 미크론 규모까지 다양합니다.

常用的薄膜沉积工艺是물리적 기상 증착(PVD)와 함께화학 기상 증착(CVD).

당사의 역량

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프로세스

热蒸发沉积
(thermal evaporative)

电阻加热蒸发、电子束热蒸发

프로세스

等离子体化学气相沉积(PECVD)

射频功率:0-600W,工艺温度:350°C;均匀性≤±5%

프로세스

低压化学气相沉积(LPCVD)

프로세스

이온 빔 스퍼터링
(IBS)

镀膜材料

镀膜材料

金属材料

钛(Ti)、铝(Al)、镍(Ni)、金(Au)、银(Ag)、铬(Cr)、铂(Pt)、铜(Cu)、钛钨(TiW90)、钯(Pd)、锌(Zn)、钼(Mo)、钨(W)、钽(Ta) 、铌(Nb)

镀膜材料

非金属材料

硅(Si)、 二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNx) 氧化铝(Al2O3)、二氧化铪(HFO2)、氟化镁(MgF2)、氧化铟锡(ITO)、五氧化二钽(Ta2O5)

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생산 공정

1. 초기 제안

도면과 요구 사항을 개발 관리자에게 보내 초기 견적을 받아보세요.

2. 프로그램 식별

도면과 요구 사항을 바탕으로 제안서와 견적을 최적화하고 최종 확정합니다.

3. 생산 및 품질 관리

당사는 귀사의 제품에 가장 적합한 장비를 선택하고 귀사의 제품이 당사의 표준을 충족할 수 있도록 전적으로 책임집니다.

4. 일정에 따른 배송

정시에 배송

품질 테스트

테스트 도구

광학 현미경(현미경)

테스트 도구

프로파일 미터

테스트 도구

시트 저항 측정

테스트 도구

홀 측정 홀 측정)

우리가 작업한 사례

마이크로 및 나노 구조

회절 광학 소자(DOE)

마이크로 및 나노 구조

슈퍼렌즈(메탈렌즈)

마이크로 및 나노 구조

회절 격자(선점, 광택, 기울기)

마이크로 나노 아키텍처

마이크로 렌즈 어레이

적용 분야

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마이크로 및 나노 애플리케이션

마이크로 렌즈 어레이

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마이크로 및 나노 애플리케이션

선형 그리드 편광판

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마이크로 및 나노 애플리케이션

센서

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마이크로 및 나노 애플리케이션

유연한 전자 제품

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마이크로 및 나노 애플리케이션

반사 방지 필름

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마이크로 및 나노 애플리케이션

OLED 패널

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마이크로 및 나노 애플리케이션

미세 유체 채널/칩

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마이크로 및 나노 애플리케이션

AR 광 도파관

당사의 강점

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장점

전체 프로세스 범위

100um-5nm의 다양한 공정 기술을 보유한 국내의 많은 실험과 협력합니다.

장점

높은 수준의 품질 관리

6시그마 서비스 정신에 따라 가장 적합한 실험 플랫폼, 프로세스, 인력 및 재료를 선택하여 처리합니다.

장점

신속한 대응

아이디어에서 구현에 이르기까지 전문가가 전문적인 조언과 지속적인 지원을 제공합니다.추적서비스

장점

시간과 걱정 절약

원칙 실현, 도면 설계, 원자재 조달, 완제품 가공에 이르는 턴키 서비스

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