Fotolitografía

Con 10 años de experiencia en micro/nano, nuestras avanzadas soluciones de procesamiento micro/nano le garantizan un ahorro de tiempo, esfuerzo y energía a lo largo de todo el proceso de fabricación micro/nano, reduciendo el importante desperdicio de costes y optimizando la eficiencia y eficacia de toda su producción.

Más de 100 escuelas y empresas nos eligen

Qué es la fotolitografía

La fotolitografía es un proceso de precisión para crear patrones de piezas sobre películas finas o sustratos (también conocidos como "obleas"). La fotolitografía utiliza la luz para transferir la geometría de una fotomáscara (también conocida como "fotomáscara") a un fotoresistente químico sensible a la luz (es decir, fotosensible) sobre un sustrato.

Nuestras capacidades

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Fotolitografía

Litografía de contacto y proximidad

Tamaño gráfico mínimo: 1μm, precisión de superposición: ±0,5μm.

Fotolitografía

Escritura directa por láser
(Escritura directa con láser)

Láser de femtosegundo, polimerización de dos fotones Impresión 3D.Tamaño gráfico mínimo 0,3um, precisión de superposición: ±0,5um;

Fotolitografía

Litografía por pasos
(Litografía por pasos)

Tamaño mínimo del gráfico: 200 nm, precisión de registro ≤ 0,15μm (X,Y), rango de exposición <22*22mm, soporte 8inch

Fotolitografía

Litografía por haz de electrones (EBL)

Tamaño mínimo del patrón: 10 nm, precisión de registro: 40 nm, rango de exposición < 100 mm de diámetro

Fotolitografía

Litografía de barrido
(Litografía de barrido)

Relación de proyección 1:5, tamaño gráfico mínimo: 0,35μm, precisión de superposición ≤ 0,15μm (X,Y), rango de exposición <22*22mm.

Fotolitografía

Litografía por haz de iones
(Litografía por haz de iones)

Tamaño gráfico mínimo: 1μm, precisión de superposición: ±0,5μm.

Materiales litográficos

Materiales litográficos

Materiales de sustrato habituales

Obleas de silicio, vidrio, zafiro, materiales flexibles, GaAs, etc.

Materiales litográficos

Tamaño del sustrato

2, 4, 6, 8 pulgadas y piezas pequeñas irregulares

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Proceso de producción

1. Oferta inicial

Envíe sus planos y requisitos a nuestro responsable de desarrollo para obtener un presupuesto inicial

2. Identificación del programa

Basándonos en los planos y los requisitos, optimizaremos y finalizaremos la propuesta y el presupuesto

3. Producción y control de calidad

Seleccionaremos el mejor equipo para su producto y asumiremos toda la responsabilidad de que su producto cumpla nuestras normas

4. Entrega en el plazo previsto

Entrega puntual

Pruebas de calidad

Herramientas de prueba

Microscopía óptica (Microscopía)

Herramientas de prueba

Perfilómetro

Herramientas de prueba

Medición de la resistencia de la chapa

Herramientas de prueba

Medición Hall Medición Hall)

Casos en los que hemos trabajado

Microestructuras y nanoestructuras

Elementos ópticos difractivos (DOE)

Microestructuras y nanoestructuras

Superlentes (METALENTES)

Arquitectura micro-nano

Conjuntos de microlentes

Ámbitos de aplicación

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Micro y nanoaplicaciones

Conjuntos de microlentes

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Micro y nanoaplicaciones

Polarizadores lineales de rejilla

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Micro y nanoaplicaciones

Sensores

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Micro y nanoaplicaciones

Electrónica flexible

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Micro y nanoaplicaciones

Película antirreflectante

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Micro y nanoaplicaciones

Paneles OLED

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Micro y nanoaplicaciones

Canales/chips microfluídicos

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Micro y nanoaplicaciones

Guía de ondas óptica AR

Nuestros puntos fuertes

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Ventajas

Cobertura total del proceso

Cooperación con muchos experimentos nacionales, con una reserva de diferentes tecnologías de procesamiento de 100um-5nm.

Ventajas

Altos niveles de control de calidad

Con el espíritu del servicio 6sigma, seleccionamos la plataforma experimental, el proceso, el personal y los materiales más adecuados para el procesamiento

Ventajas

Respuesta rápida

Desde la idea hasta la puesta en práctica, nuestros expertos proporcionarán asesoramiento especializado y continuado.SeguimientoServicios

Ventajas

Ahorre tiempo y preocupaciones

Servicio llave en mano, desde la realización del principio, el diseño de planos, la adquisición de materias primas hasta la transformación del producto acabado

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