最新动态

微纳加工 | 衍射光学元件介绍 衍射光学元件（DiffractiveOpticalElement，D

微纳加工 | 光电器件常用基板/衬底 硅 在集成电路中，硅是作为标准材料使用的，也是世界上研究最广泛

微纳加工 | 电子纸微杯微室型结构制备   对于当前面临能源危机、大力发展节能减排技术的经济模式来说

微纳加工 | AIE聚合物发光器件制作 微纳发光器件在集成光学发展过程中扮演着重要的角色，比如：光增

微纳加工| 蛋白质基微纳器件芯片制造 近年来，由于便携式设备的发展。人们更注重电子设备的灵活性。特别

微纳加工 | 微流控芯片 微流控芯片已经成为在单细胞分辨率下研究生物系统的强大工具。同时，微流控芯片

微纳结构/MEMS代工平台技术能力 实验室平台拥有设备等共计200余台，其中主要设备（40余台）包括

UV-LIGA电铸 | 制造金属阵列网板 目前制备精细金属网板的主要工艺技术为：光刻－腐蚀法、激光加