随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高，MEMS系统得到了长足发展，受限于普通能源供电装置尺寸大、能量密度低、寿命短等缺点，微能源器件这种能源供电装置逐渐受人关注，并成为MEMS系统中重要的组成部分。当前微能源领域研究热点包括：微型锌镍电池、微型锂电池、微型燃料电池、微型太阳能 电池、微型同位素电池、微型内燃机、振动驱动微能源、摩擦发电机。

微型电池                         

微型锌镍电池

锌镍电池具有较高的工作电压、较高的比能 量以及良好的高倍率放电性，是一种绿色动力电 池。Bipolar公司与Brigham Young大学以硅衬底为 基体，NiOOH和Ni为电池正极，Zn为电池负极， KOH为电解液研制出多种结构微型锌镍电池。

微型锂电池

全固态微型锂 离子电池，其工作原理与常规锂离子电池相同， 是通过锂离子在正、负极材料之间的可逆变化实 现电池充、放电过程。全固态锂离子电池具有能 量密度高、集成性能好、循环周期长等优点，是 一种极具优势的微型储能元件，按结构形式不同 可分为二维结构和三维结构。

微型燃料电池

燃料电池是一种将化学能直接转换成电能的 电化学装置，通过燃烧反应实现能量转换，同时 生成水和二氧化碳。燃料电池能量密度高，不 污染环境，在燃料压缩密度高的情况下可长期供 电。各种类型的燃料电池都基于相同的基本原 理，它们的组成离不开四个基本要素：电解质 （液）、阴极、阳极和组装。

微型太阳能电池

太阳能电池的工作原理主要是利用半导体材料 的光生伏打效应，是一种清洁、无污染的可再生能 源，输出电压较高，适用于光照充足的机电系统。

微型同位素电池

放射性同位素在衰变过程中会向外发射粒子，粒子具有动能。同位素电池可将粒子动能转换为电能，按转换形式不同分为热型和非热型两种，其中非热型同位素电池也称为核电池。同 位素电池的特点是：能量密度大、体积小、抗干 扰性强、寿命长、在使用过程中无需额外添加材 料，在宇宙探测方面具有广阔的应用前景。

微型发电机                                

微型内燃机

内燃机是当今社会最重要的一种动力装置， 具有结构紧凑、输出功率大等优点。内燃机与发 电装置可以组合成发电系统。

振动驱动微能源

振动能广泛的存在于自然环境中，是一种清洁 能源，微型振动式发电机能将环境振动能转换为电 能，在机电系统中可长期提供稳定的能源。

微型振动式发电机按结构不同主要分 为：静电转换式、电磁转换式、压电转换式。

摩擦发电机

美国乔治亚理工学院以摩擦发电原理为基 础，设计并证实了纳米摩擦发电机（TENG）是 一种高效、稳定的机电系统，TENG上有两个聚合物材料制备的薄 膜，两个薄膜之间周期性的接触和分离，在接触 过程中，两个薄膜通过摩擦发电产生电荷，在分 离过程中，实现电荷的转移，形成电流。