Технические возможности платформы для литья микро- и наноструктур/МЭМС Лабораторная платформа имеет в общей сложности более 200 единиц оборудования, включая основное оборудование (более 40 единиц), в том числе: - графическое ...
MEMS Foundry Capabilities | Photolithography Plating Etching Coating Читать далее »
UV-LIGA Electroforming | Изготовление металлических трафаретов Основными технологиями, используемыми в настоящее время для подготовки тонких металлических трафаретов, являются: фотолитография-травление, лазерная обработка и фотолитография ...
LIGA/UV-LIGA Покрытие | Металлические микроструктуры Радиочастотные устройства Инерционные датчики Рассеивание тепла Применение микроструктур Микросистемы (Microsystem, ...
Микро- и нанообработка | для клеточного массива Клеточный микромассив (или клеточный паттернинг)" также известен как ограничение изучаемых клеток ограниченным пространственным расположением, ...
Микро- и нанообработка | для клеточных массивов Читать далее »
Микро и нано обработка | Подготовка микро и нано оптических компонентов Микро и нано оптические компоненты - это оптические поверхности свободной формы и микропереходы с субмикронной точностью поверхности и нанометровой шероховатостью ...
Микро- и нанообработка | Изготовление микро- и нанооптических компонентов Читать далее »
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (VII) 1.10 Технология склеивания Склеивание пластин похоже на пайку, поскольку не используется связующее вещество, а слои материала сплавляются вместе, образуя ...
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (VII) Читать далее »
Микро- и нанообработка | MEMS Fine Processing 1.6 Технология жертвенного слоя Технология жертвенного слоя также известна как технология разделительного слоя. Технология жертвенного слоя - это использование химического газа на кремниевой ...
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (VI) Читать далее »
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (V) 1.5 Технология травления высокоэнергетическим лучом (1) Травление электронным лучом Химическое воздействие электронного луча используется для травления ...
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (V) Читать далее »
Микро- и нанообработка | MEMS Fine Processing (IV) 1.3 Литография Литография, также известная как фотолитография, берет свое начало в производстве интегральных схем для микроэлектроники. Литография ...
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (IV) Читать далее »
Микро и нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (3) Технология микро и тонкой обработки МЭМС формируется на основе интегральных схем, последовательно со сверхточными механическими ...
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (III) Читать далее »
