Более 100 школ и предприятий выбирают нас
Процесс травления - Травление
Имея 10-летний опыт работы в области микро/нано, наши передовые решения в области микро/нано обработки обеспечивают экономию времени, усилий и энергии на протяжении всего процесса микро/нано производства, сокращая значительные потери затрат и оптимизируя эффективность и результативность всего производства.
Что такое травление?
Травление - это процесс химического или физического удаления нежелательного материала с поверхности пластины. Три основных этапа в производстве полупроводников - фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, которые непрерывно циклически повторяются для создания сложных и тонких структур схем.
Наши возможности
Процесс травления
Реактивное ионное травление
(RIE - реактивное ионное травление)
Наиболее широко используемая и наиболее способная технология для микро- и нанообработки, травления Si, SiO₂, SiNx и т.д.
Процесс травления
Глубокое реактивное ионное травление
(DRIE - глубокое реактивное ионное травление)
Однородность травления UN<3%; скорость глубокого травления Si 2-10um/мин; скорость травления Sio2 и SiNx 20-150nm/мин.
Процесс травления
Травление сфокусированным ионным пучком
(FIBE-фокусированное ионно-лучевое травление)
Микро- и нанообработка материалов и устройств для травления, осаждения, легирования и т.д.
Процесс травления
Ионно-лучевое распыление травления
(IBE - ионно-лучевое травление)
Для металлов или других веществ, которые трудно поддаются травлению
Процесс травления
Индуктивно/капацитарно связанное плазменное травление
(ICP/CCP-Inductively/capacitance Coupled Plasma)
Травление GaN, GaAs, InP и других материалов
Процесс травления
Влажное травление (мокрое травление)
Справляется с неорганической и неорганической очисткой от 2inc до 8inc, а также с обычной кислотной и щелочной коррозией
Материалы для травления
Материалы для травления
Распространенные материалы для травления
Кремний, оксид кремния, нитрид кремния, металл, кварц, сапфир и другие материалы
Материалы для травления
Растворы для мокрого травления
Уксусная кислота (H3COOH),
Соляная кислота (HCl)
Фтористоводородная кислота (HF)
Азотная кислота (HNO3)
Фосфорная кислота (H3PO4)
Гидроксид калия (KOH)
Гидроксид натрия (NaOH)
Серная кислота (H2SO4)
Aqua regia (3 HCl : 1 HNO3)
Производственный процесс
1. первоначальное предложение
Отправьте ваши чертежи и требования нашему менеджеру по разработке для получения первоначального предложения
2. определение программы
На основе чертежей и требований мы оптимизируем и доработаем предложение и коммерческое предложение
3. производство и контроль качества
Мы подберем лучшее оборудование для вашего продукта и возьмем на себя полную ответственность за соответствие вашего продукта нашим стандартам
4. доставка по графику
Доставляется в срок
Проверка качества
Инструменты для тестирования
Оптическая микроскопия (Микроскопия)
Инструменты для тестирования
Профилометр
Инструменты для тестирования
Измерение сопротивления листа
Инструменты для тестирования
Измерение Холла Измерение Холла)
Дела, над которыми мы работали
Микро- и наноструктуры
Дифракционные оптические элементы (DOE)
Микро- и наноструктуры
Суперлинзы (METALENSES)
Микро- и наноструктуры
Дифракционные решетки (линейно-точечные, блестящие, наклонные)
Микро-нано архитектура
Массивы микролинз
Области применения
Микро- и наноприложения
Массивы микролинз
Микро- и наноприложения
Линейные решетчатые поляризаторы
Микро- и наноприложения
Датчики
Микро- и наноприложения
Гибкая электроника
Микро- и наноприложения
Антибликовая пленка
Микро- и наноприложения
OLED-панели
Микро- и наноприложения
Микрофлюидические каналы/чипы
Микро- и наноприложения
Оптический волновод AR
Наши сильные стороны
Преимущества
Полный охват процесса
Сотрудничество со многими отечественными экспериментами, с резервом различных технологий обработки от 100um-5nm
Преимущества
Высокие стандарты контроля качества
В духе сервиса 6sigma мы выбираем наиболее подходящую экспериментальную платформу, процесс, персонал и материалы для обработки
Преимущества
Быстрое реагирование
От идеи до ее реализации наши специалисты предоставят квалифицированную консультацию и обеспечат постоянныйОтслеживаниеУслуги
Преимущества
Экономьте время и беспокойство
Услуги "под ключ", от реализации принципа, разработки чертежей, закупки сырья до обработки готовой продукции
Свяжитесь с нами
Будьте готовы
Вы уже реализовали свои идеи?
Вы проектируете будущее, мы его строим.