フォトリソグラフィー
フォトリソグラフィーとは
フォトリソグラフィーは、薄膜や基板(ウェハー)上に部品をパターン化する精密なプロセスです。フォトリソグラフィーは、光を用いて、フォトマスク(「フォトマスク」とも呼ばれる)から、基板上の感光性(すなわち感光性)化学フォトレジストに形状を転写する。
私たちの能力
![l-n-QASO5vwgVco-unsplash-2.jpg l-n-QASO5vwgVco-unsplash-2.jpg](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/l-n-QASO5vwgVco-unsplash-2-pue8ri1706wkvr9xvva8e2ak7ew19se0z1yl58r7yo.jpg)
コンタクトと近接リトグラフ
最小グラフィックサイズ:1μm、オーバーレイ精度:±0.5μm
レーザーダイレクトライティング
(レーザー直接描画)
フェムトセカンドレーザー、2光子重合 3Dプリンター。最小グラフィックサイズ0.3um、オーバーレイ精度:±0.5um。
フォトリソグラフィー
ステッパーリソグラフィー
(ステッパーリソグラフィー)
最小グラフィックサイズ:200nm、見当精度≤0.15μm(X,Y)、露光範囲<22*22mm、サポート8インチ
フォトリソグラフィー
電子ビーム描画装置(EBL: Electron Beam Lithography)
最小パターンサイズ:10nm、レジストレーション精度:40nm、露光範囲<直径100mm
フォトリソグラフィー
スキャニングリソグラフィー
(スキャニングリソグラフィー)
投影比率1:5、最小グラフィックサイズ:0.35μm、オーバーレイ精度≦0.15μm(X、Y)、露光範囲<22*22mm
フォトリソグラフィー
イオンビームリソグラフィー
(イオンビームリソグラフィー)
最小グラフィックサイズ:1μm、オーバーレイ精度:±0.5μm
リトグラフ材料
リトグラフ材料
一般的な基板材料
シリコンウエハー、ガラス、サファイア、フレキシブル材料、GaAsなど。
リトグラフ材料
基板サイズ
2、4、6、8インチ、不定形小片
![シリコンウェーハ合成研究所-ナノ科学研究センター-ドノスティア-サン-セバスチャン-ギプスコア-バスク国-スペイン-ヨーロッパ-RKD3M7.jpg シリコンウェーハ合成研究所-ナノ科学研究センター-ドノスティア-サン-セバスチャン-ギプスコア-バスク国-スペイン-ヨーロッパ-RKD3M7.jpg](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/silicon-wafer-synthesis-laboratory-nano-science-research-center-donostia-san-sebastian-gipuzkoa-basque-country-spain-europe-RKD3M7-pue9ixxt21v56x4nozleysbgj2ahrx0w6t0icpxqno.jpg)
生産工程
1.初回特典
図面やご要望を開発担当者にお送りいただき、初期見積りを行います。
2.プログラムの識別
図面や要望をもとに、提案書や見積書を最適化し、最終決定します
3.生産・品質管理
お客様の製品に最適な機器を選定し、当社の基準を満たすよう全責任を負います
4.予定通りの納品
納期を守ってお届けします
品質テスト
テストツール
光学顕微鏡(マイクロスコープ)
テストツール
プロフィロメーター
テストツール
シート抵抗の測定
テストツール
ホール測定 ホール測定)
これまでに担当したケース
マイクロ・ナノ構造
回折光学素子(DOE)
マイクロ・ナノ構造
スーパーレンズ(METALENSES)
マイクロ・ナノ構造
回折格子(ラインポイント、シャイン、チルト)
マイクロナノアーキテクチャ
マイクロレンズアレイ
応用分野
![WeChat screenshot_20220605205559.png WeChat screenshot_20220605205559.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205559-5jez95fwe414bnxesqiq5hw5rs4fberw0a2mknce0y032.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
マイクロレンズアレイ
![WeChat screenshot_20220605205536.png WeChat screenshot_20220605205536.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205536-5jez9dwiluuxbl42zp3qcxxyhh7r8bxzze6carlx187hq.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
リニアグリッド偏光板
![WeChat screenshot_20220605205517.png WeChat screenshot_20220605205517.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205517-5jez9mrn0ttkud0sc4rgaggzf97tfe4eflwioexm38m3y.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
センサー
![WeChat screenshot_20220605205401.png WeChat screenshot_20220605205401.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205401-5jez9v898kndua7gj3cghwis4yb5cbaieq08ej753itim.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
フレキシブルエレクトロニクス
![WeChat screenshot_20220605205134.png WeChat screenshot_20220605205134.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205134-5jeza4p4ydtb5c77lqm90irneuoaykzckl63rh4384iy6.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
反射防止フィルム
![WeChat screenshot_20220605205156.png WeChat screenshot_20220605205156.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205156-5jezadk9dcryo43wy69yy1aocmod5n5r0swa54fsa4xke.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
有機ELパネル
![WeChat screenshot_20220605205347.png WeChat screenshot_20220605205347.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205347-5jezam84opo6xgnlpvec0il36d827mu08gt8708eba8ku.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
マイクロ流体チャンネル/チップ
![WeChat screenshot_20220605205110.png WeChat screenshot_20220605205110.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/微信截图_20220605205110-5jez5ztbse20n00dwz97y2xqgzqjw6hu1w469cd0hpiwe.png)
マイクロ・ナノアプリケーション
AR光導波路
当社の強み
![semi.png semi.png](https://www.accscicn.com/wp-content/uploads/elementor/thumbs/semi-5jezdn2xwuwjjutra8qjy1jcq4e55s9ldpcn1bb5tjttk.png)
フルプロセスカバレッジ
100um~5nmのさまざまな加工技術を蓄積し、国内の多くの実験と連携。
高水準の品質管理
6sigmaサービスの精神に基づき、最適な実験プラットフォーム、プロセス、人材、材料を選択し、加工を行う
迅速な対応
アイデアから実装まで、専門家が専門的なアドバイスを提供し、継続的にトラッキングサービス内容
時間や心配を減らす
原理の実現、図面設計、原料調達から製品加工までのターンキーサービス。
お問い合わせ
準備する
自分のアイデアはもう実現したのでしょうか?
あなたが未来をデザインし、私たちがそれを構築する。