物理的気相成長法（PVD）の種類、特徴、アプリケーションの紹介
物理蒸着（PVD）の種類、特徴、用途 はじめに 目次 物理蒸着（PVD）って何？ 物理的気相成長法（PVD）とは、真空条件下で固体または液体の材料の表面を気化させ、気体状の原...
電子ビームリソグラフィ（EBL）の紹介
マイクロ・ナノ加工丨電子ビームリソグラフィ（EBL）技術紹介 目次 電子ビームリソグラフィって何？ 電子ビームリソグラフィ（EBL）とは、マスクレスリソグラフィの一種で、極短波長の集束電子を電子感応性フォトレジスト（レジスト）の表面に直接作用させ、レジスト上に凸凹を形成するものです。
薄膜形成丨原子層堆積（ALD）技術の原理と応用
薄膜形成丨原子層堆積（ALD）技術の原理と応用 目次 原子層堆積（ALD）とは 原子層堆積（ALD）とは？ 原子層堆積法（ALD）は、化学気相成長法（CVD）を応用した高精度な薄膜形成技術であり、...
マイクロ流体チップの紹介丨共通材料と準備・加工法
マイクロ流体チップの紹介丨共通材料と作製方法 目次 マイクロ流体チップとは？ マイクロ流体チップは、LOC（Lab-on-a Chip）とも呼ばれ、ミクロン単位のマイクロチューブの中で微量の流体を精密に操作し、...
薄膜形成丨マグネトロンスパッタリング技術の原理と応用を紹介します。
薄膜形成丨マグネトロンスパッタリング技術の原理と応用 Contents マグネトロンスパッタリングとは？ マグネトロンスパッタリングは、真空蒸着法の一種であるPVD（Physical Vapour Deposition）プロセスです。成膜温度が低く、膜質が良く、均一で、成膜速度が速く、大面積の均一で緻密な硬質膜を作成できることから、広く利用されています ...
超鏡面レンズ（メタレンズ）の紹介丨設計原理、応用、加工方法など
超鏡面レンズ（メタレンズ）の紹介丨設計原理・用途・加工方法 目次 超鏡面レンズ（メタレンズ）って何？ メタルレンズは、超構造レンズとも呼ばれます。光を集光する超表面（サブ波長の厚みを持つ平面2次元（2D）メタマテリアル）からなる2次元平面レンズ構造であり、 ...
マイクロレンズアレイの紹介丨作製・加工方法と応用例
マイクロレンズアレイ（MLA） はじめに丨製作・加工方法と用途 目次 マイクロレンズアレイとは？ マイクロレンズアレイ（MLA）とは、ミクロンオーダーの開口部とレリーフ深さを持つマイクロレンズを複数個、特定の方法で配列したアレイです。透過 ...
マイクロ・ナノ加工｜ナノインプリント（NIL）技術の紹介と応用例
マイクロ・ナノ加工｜ナノインプリント(NIL)技術・応用の紹介 目次 ナノインプリントとは？ ナノインプリントリソグラフィー（NIL）は、マイクロ・ナノ構造のパターンを持つテンプレートを用いて、対応する基板にパターンを転写し、ナノスケールのパターンを作成するマイクロ・ナノ加工プロセスです。 転写媒体は通常、非常に薄いポリマー層です ...
メタマテリアルとは何ですか？メタマテリアルの種類と用途は？
"メタマテリアル（Metamaterials）"とは、天然素材にはない特別な物理特性を持つ人工素材のこと。 メタマテリアルは、その周囲に設計されたミクロン／ナノメートル単位のパターンや構造によって、自然界にはない方法で光やその他の形態のエネルギーと相互作用する。典型的なメタマテリアルは左利きである材料、フォトニック結晶、超磁性材料、金属水、など。