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物理的気相成長法(PVD)の種類、特徴、アプリケーションの紹介

物理的気相成長法(PVD)入門 種類、特徴、用途 目次 物理的気相成長法(PVD)とは? 物理的気相成長法(PVD)は、真空条件下で使用される物理的な方法で、固体または液体の材料の表面を気化させ、気体の原 [...]...

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電子ビームリソグラフィ(EBL)の紹介

マイクロ・ナノ加工丨電子ビームリソグラフィ(EBL)技術紹介 目次 電子ビームリソグラフィとは? 電子ビームリソグラフィ(e-beam lithography; EBL)とは、マスクレスリソグラフィの一種で、極短波長の集束電子を電子感応性フォトレジスト(レジスト)の表面に直接作用させ、フォトレジストの表面をマスクと同じ表面に写像する技術です。

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マイクロ流体チップの紹介丨共通材料と準備・加工法

マイクロ流体チップ入門丨よく使われる材料と作製加工法 目次 マイクロ流体チップとは? マイクロ流体チップ(Microfluidics chip)とは、LOC(Lab-on-a Chip)とも呼ばれ、微細なチューブ内の微量の流体を精密に操作することで

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薄膜形成丨マグネトロンスパッタリング技術の原理と応用を紹介します。

薄膜形成丨マグネトロンスパッタリング技術の原理と応用 目次 マグネトロンスパッタリングとは? マグネトロンスパッタリングは、真空蒸着プロセスの一種である物理蒸着(PVD)プロセスです。成膜温度が低く、膜質が良好で、均一性が高く、成膜速度が速く、大面積で均一かつ緻密な硬質膜を作製できるため、広く用いられています。

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超鏡面レンズ(メタレンズ)の紹介丨設計原理、応用、加工方法など

超表面レンズ(メタレンズ)入門丨 設計原理・用途・加工方法 目次 スーパーレンズとは? スーパーレンズ(メタレンズ)は超構造レンズとも呼ばれます。超表面(サブ波長厚さを持つ平面2次元(2D)メタマテリアル)からの光を集光する2次元平面レンズ構造です。

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マイクロレンズアレイの紹介丨作製・加工方法と応用例

マイクロレンズアレイ(MLA)の紹介丨作製・加工方法と応用例 目次 マイクロレンズアレイとは? マイクロレンズアレイ(MLA)とは、ミクロンサイズの開口とレリーフ深さを持つ複数のマイクロレンズを特定の方法で配列したアレイです。を通して

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マイクロ・ナノ加工|ナノインプリント(NIL)技術の紹介と応用例

マイクロナノファブリケーション|ナノインプリントリソグラフィー(NIL)技術紹介と応用例 目次 ナノインプリントリソグラフィーとは? ナノインプリントリソグラフィー(NIL)は、マイクロナノ構造パターンを有するテンプレートを使用して、対応する基板上にパターンを転写することによりナノスケールパターンを作成する微細加工プロセスであり、転写媒体は通常、重合した非常に薄い層である。

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メタマテリアルとは何ですか?メタマテリアルの種類と用途は?

"メタマテリアル(Metamaterials)"とは、天然素材にはない特別な物理特性を持つ人工素材のこと。 メタマテリアルは、その周囲に設計されたミクロン/ナノメートル単位のパターンや構造によって、自然界にはない方法で光やその他の形態のエネルギーと相互作用する。典型的なメタマテリアルは左利きである材料、フォトニック結晶、超磁性材料、金属水、など。

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