物理的気相成長法(PVD)の種類、特徴、アプリケーションの紹介
物理蒸着(PVD)の種類、特徴、用途 はじめに 目次 物理蒸着(PVD)って何? 物理的気相成長法(PVD)とは、真空条件下で固体または液体の材料の表面を気化させ、気体状の原...
物理蒸着(PVD)の種類、特徴、用途 はじめに 目次 物理蒸着(PVD)って何? 物理的気相成長法(PVD)とは、真空条件下で固体または液体の材料の表面を気化させ、気体状の原...
マイクロ・ナノ加工丨電子ビームリソグラフィ(EBL)技術紹介 目次 電子ビームリソグラフィって何? 電子ビームリソグラフィ(EBL)とは、マスクレスリソグラフィの一種で、極短波長の集束電子を電子感応性フォトレジスト(レジスト)の表面に直接作用させ、レジスト上に凸凹を形成するものです。
薄膜形成丨原子層堆積(ALD)技術の原理と応用 目次 原子層堆積(ALD)とは 原子層堆積(ALD)とは? 原子層堆積法(ALD)は、化学気相成長法(CVD)を応用した高精度な薄膜形成技術であり、...
マイクロ流体チップの紹介丨共通材料と作製方法 目次 マイクロ流体チップとは? マイクロ流体チップは、LOC(Lab-on-a Chip)とも呼ばれ、ミクロン単位のマイクロチューブの中で微量の流体を精密に操作し、...
薄膜形成丨マグネトロンスパッタリング技術の原理と応用 Contents マグネトロンスパッタリングとは? マグネトロンスパッタリングは、真空蒸着法の一種であるPVD(Physical Vapour Deposition)プロセスです。成膜温度が低く、膜質が良く、均一で、成膜速度が速く、大面積の均一で緻密な硬質膜を作成できることから、広く利用されています ...
超鏡面レンズ(メタレンズ)の紹介丨設計原理・用途・加工方法 目次 超鏡面レンズ(メタレンズ)って何? メタルレンズは、超構造レンズとも呼ばれます。光を集光する超表面(サブ波長の厚みを持つ平面2次元(2D)メタマテリアル)からなる2次元平面レンズ構造であり、 ...
マイクロレンズアレイ(MLA) はじめに丨製作・加工方法と用途 目次 マイクロレンズアレイとは? マイクロレンズアレイ(MLA)とは、ミクロンオーダーの開口部とレリーフ深さを持つマイクロレンズを複数個、特定の方法で配列したアレイです。透過 ...
マイクロ・ナノ加工|ナノインプリント(NIL)技術・応用の紹介 目次 ナノインプリントとは? ナノインプリントリソグラフィー(NIL)は、マイクロ・ナノ構造のパターンを持つテンプレートを用いて、対応する基板にパターンを転写し、ナノスケールのパターンを作成するマイクロ・ナノ加工プロセスです。 転写媒体は通常、非常に薄いポリマー層です ...
"メタマテリアル(Metamaterials)"とは、天然素材にはない特別な物理特性を持つ人工素材のこと。 メタマテリアルは、その周囲に設計されたミクロン/ナノメートル単位のパターンや構造によって、自然界にはない方法で光やその他の形態のエネルギーと相互作用する。典型的なメタマテリアルは左利きである材料、フォトニック結晶、超磁性材料、金属水、など。