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Procédé de gravure - Gravure
Avec 10 ans d'expérience en micro/nano, nos solutions avancées d'usinage micro/nano vous permettent d'économiser du temps, des soucis et des efforts tout au long du processus de fabrication micro/nano, en réduisant une grande quantité de déchets coûteux et en optimisant l'efficacité et la rentabilité de l'ensemble de la production.
Qu'est-ce que la gravure ?
La technologie de micro-nano-traitement de la gravure est l'utilisation de méthodes chimiques ou physiques pour éliminer la surface de la plaquette attachée au processus des matériaux inutiles, les principales étapes de fabrication des semi-conducteurs comprennent la lithographie, la gravure et le dépôt de couches minces de trois étapes principales, un cycle continu, pour créer une structure de circuit complexe et fine.
Nos compétences
processus de gravure
Gravure ionique réactive
(RIE - Reactive Ion Etching)
La technologie la plus utilisée et la plus apte à la micro- et nanofabrication, à la gravure du Si, du SiO₂, du SiNx, etc.
processus de gravure
Gravure ionique réactive profonde
(DRIE - Gravure ionique réactive profonde)
Uniformité de gravure UN<3% ; vitesse de gravure du Si profond 2-10um /min ; vitesse de gravure du Sio2 et du SiNx 20-150nm /min
processus de gravure
Gravure par faisceau d'ions focalisés
(FIBE - Gravure par faisceau d'ions focalisés)
Micro et nanofabrication de matériaux et de dispositifs par gravure, dépôt, dopage, etc.
processus de gravure
Gravure par pulvérisation cathodique d'un faisceau d'ions
(IBE - Gravure par faisceau d'ions)
Pour les métaux ou autres substances difficiles à graver
processus de gravure
Gravure par plasma à couplage inductif/capacitif
(ICP/CCP-Plasma couplé par induction/capacité)
Gravure de GaN, GaAs, InP et autres matériaux
processus de gravure
Gravure humide
Peut supporter un nettoyage inorganique et inorganique 2inc-8inc, ainsi que la corrosion acide et alcaline conventionnelle.
matériau de gravure
matériau de gravure
Matériaux de gravure courants
Silicium, oxyde de silicium, nitrure de silicium, métal, quartz, saphir et autres matériaux
matériau de gravure
Solutions de gravure humide
Acide acétique (H3COOH),
Acide chlorhydrique (HCl),
Acide fluorhydrique (HF),
Acide nitrique (HNO3),
Acide phosphorique (H3PO4),
Hydroxyde de potassium (KOH),
Hydroxyde de sodium (NaOH),
Acide sulfurique (H2SO4),
Aqua regia (3 HCl : 1 HNO3)
processus de production
1. l'offre préliminaire
Envoyez vos dessins et vos exigences à notre responsable du développement pour obtenir un premier devis.
2. l'identification du programme
Sur la base des dessins et des exigences, nous optimisons et déterminons la proposition et le devis.
3. la production et le contrôle de la qualité
Nous sélectionnerons le meilleur équipement pour votre produit et nous assumerons l'entière responsabilité de la fabrication de votre produit selon nos normes.
4. livraison dans les délais
Livrer le produit à temps
le contrôle de la qualité
Moyens de détection
Microscope optique (Microscopie)
Moyens de détection
Profilomètre (Contouring)
Moyens de détection
Mesure de la résistance de la feuille
Moyens de détection
Mesure de Hall )
Les cas que nous avons traités
nanostructure
Éléments optiques diffractifs (DOE)
nanostructure
Superlentilles (METALENSES)
micronalyse
réseau de microlentilles
Domaines d'application
Applications micro-nano
réseau de microlentilles
Applications micro-nano
polariseur linéaire
Applications micro-nano
transducteurs
Applications micro-nano
électronique flexible
Applications micro-nano
Film antireflet
Applications micro-nano
Panneau OLED
Applications micro-nano
Canaux et puces microfluidiques
Applications micro-nano
Guide d'onde optique AR
Nos avantages
tranchant
Couverture complète du processus
Coopération avec un certain nombre d'expériences nationales, avec des réserves de technologies de traitement différentes de 100um-5nm
tranchant
Contrôle de qualité de haut niveau
Nous respectons l'esprit du service 6sigma, en sélectionnant la plate-forme expérimentale, la technologie, le personnel et les matériaux les plus appropriés pour le traitement.
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réponse rapide
De l'idée à l'atterrissage, nos experts fourniront des conseils avisés et continueront àhanterservice
tranchant
gagner du temps et s'épargner des soucis
Service clé en main, de la réalisation du principe à la conception des dessins, de l'approvisionnement en matières premières à la transformation du produit fini.
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Vous dessinez l'avenir, nous le construisons.