Решения - Микро- и нанообработка

LIGA/UV-LIGA Покрытие | Металлические микроструктуры ВЧ-устройства Инерциальные датчики Рассеивание тепла Микроструктурные приложения Микросистемы, [...

Микронанофабрикация | Для массива клеток Микромассивы клеток (или клеточный паттернинг) "также известны как ограничение изучаемых клеток определенным пространственным расположением".

Микро-нано обработка | Подготовка микро-нано оптических элементов Микро-нано оптические элементы представляют собой оптические поверхности и микро-переходы свободной формы с субмикронной точностью поверхности и нанометровой шероховатостью.

Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (VII) 1.10 Технология склеивания Склеивание пластин похоже на пайку, так как не используется клей, а слои материала расплавляются вместе для образования соединения.

Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС 1.6 Технология жертвенных слоев Технология жертвенных слоев также известна как технология разделительных слоев. Технология жертвенного слоя предполагает использование химического газа на кремниевой подложке.

Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (V) 1.5 Технология травления высокоэнергетическим лучом (1) травление электронным лучом с использованием химического эффекта травления электронным лучом

Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing(4) 1.3 Фотолитография Фотолитография, также известная как фотолитография, возникла при производстве интегральных схем для микроэлектроники. Фотолитография

Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (3) Технология микрофабрикации, ориентированная на МЭМС, формируется на основе интегральных схем, уже существует сверхточное оборудование

Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing (II) Технология микрофабрикации является основой для реализации микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также основной технологией и центром исследований в области МЭМС.

Микро-нано обработка | MEMS обработка Введение (I) Микросистема (Microsystem, обычный европейский термин), микроэлектромеханические системы (Micro E)