Micronanofabrication | Classification de l'orientation de la recherche sur les MEMS
La recherche sur les MEMS a formé un système plus complet couvrant de multiples domaines de recherche, notamment la théorie de base, le processus micro-nano, les dispositifs micro-nano, les tests micro-nano, les systèmes micro-nano et les micro-emballages.
La recherche actuelle sur les MEMS peut être divisée en quatre grandes directions :
microénergie
Le développement rapide des appareils électroniques portables sur la densité énergétique de l'alimentation portable pose des exigences plus élevées, et l'utilisation de la technologie de microfabrication pour fabriquer des dispositifs micro-énergétiques permet de réduire considérablement la taille du dispositif d'alimentation en énergie, ce qui constitue un outil puissant pour le développement d'une alimentation portable à haute densité énergétique.
Détection et analyse micro-nano-biochimiques
La recherche sur la détection et l'analyse micro-nano-biochimiques comprend des systèmes d'analyse micro-complets tels que des puces de dépistage de médicaments, des puces à protéines, des puces d'analyse unicellulaire, des dispositifs et des technologies connexes tels que des nanocapteurs à ondes acoustiques, des nanobiocapteurs optiques, des nanobiocapteurs magnétiques, des nanocapteurs électrochimiques, etc.
Microactionneurs et systèmes
L'étude des microactionneurs est une orientation importante dans les micro-nano-systèmes. Elle couvre les micro-dispositifs RF, les micro-robots, les micro-véhicules, les actionneurs micro-fluidiques et les dispositifs micro-optiques.
Microcapteurs de mesure physique
Les capteurs de mesure physique répondent à un large éventail de besoins dans les domaines de l'armement, de la pétrochimie, de l'automobile, etc., et de nombreuses applications nécessitent des capteurs de petite taille, à haute sensibilité et capables de fonctionner dans des environnements difficiles à haute température, à haute humidité et à fort impact.
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