Capacités de la fonderie MEMS | Photolithographie Placage Gravure Revêtement
微纳结构/MEMS代工平台技术能力 实验室平台拥有设备等共计200余台,其中主要设备(40余台)包括: ·图形 […]
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微纳结构/MEMS代工平台技术能力 实验室平台拥有设备等共计200余台,其中主要设备(40余台)包括: ·图形 […]
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Électroformage UV-LIGA | Fabrication de pochoirs métalliques Actuellement, les principales technologies de processus pour la préparation de pochoirs métalliques fins sont : la photolithographie et la gravure, le traitement au laser et la photolithographie.
Placage LIGA/UV-LIGA | Microstructures métalliques Appareils RF Capteurs inertiels Dissipation de la chaleur Applications microstructurelles Microsystems, Inc.
Micronanofabrication pour la mise en place de réseaux cellulaires La mise en place de réseaux cellulaires (ou mise en place de réseaux cellulaires) "est également connue comme le fait de contraindre les cellules étudiées à un emplacement spatial défini".
Micronanofabrication pour la mise en réseau des cellules Lire la suite "
Préparation des éléments optiques micro-nanos Les éléments optiques micro-nanos sont des surfaces optiques de forme libre et des micro-jonctions avec une précision de surface inférieure au micron et une rugosité de surface de l'ordre du nanomètre.
Micro-Nano Processing | Préparation de micro-nanocomposants optiques Lire la suite "
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing (VII) 1.10 Technologie de collage Le collage des wafers est similaire à la soudure en ce sens qu'aucun adhésif n'est utilisé et que les couches de matériaux sont fondues ensemble pour former une liaison.
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing(VII) Lire la suite "
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing 1.6 Technologie de la couche sacrificielle La technologie de la couche sacrificielle est également connue sous le nom de technologie de la couche de séparation. La technologie des couches sacrificielles implique l'utilisation d'un gaz chimique sur un substrat de silicium.
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing(VI) Lire la suite "
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing (V) 1.5 Technologie de gravure par faisceau à haute énergie (1) gravure par faisceau d'électrons utilisant l'effet chimique de la gravure par faisceau d'électrons
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing(V) Lire la suite "
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing(4) 1.3 Photolithographie La photolithographie, également connue sous le nom de photolithographie, trouve son origine dans la fabrication de circuits intégrés pour la microélectronique. La photolithographie
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing(IV) Lire la suite "
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing (3) La technologie de microfabrication orientée vers les MEMS est formée sur la base des circuits intégrés, il y a eu des machines d'ultra-précision.
Micro-Nano Processing | MEMS Fine Processing(III) Lire la suite "